路径: 主页 > GB/T > 第526页 > GB/T 45773-2025 | 标准编号 | GB/T 45773-2025 (GB/T45773-2025) | | 中文名称 | 表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则 | | 英文名称 | Surface chemical analysis - Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan - Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containing compounds | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 18,110 | | 发布日期 | 2025-06-30 | | 实施日期 | 2026-01-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 45773-2025: 表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则
ICS 71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 X射线光电子能谱全扫
描谱的准实时信息 含碳化合物表面
污染的识别和校正规则
identificationof,andcorrectionfor,surfacecontamination
(ISO 22581:2021,IDT)
2025-06-30发布 2026-01-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 样品污染 2
5.1 概述 2
5.2 污染来源 2
5.3 污染识别 2
6 膜厚度的评估及其影响的校正 8
6.1 膜厚度 8
6.2 基底成分的校正 8
附录A(规范性) 操作规则流程图 9
参考文献 12
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 22581:2021《表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含
碳化合物表面污染的识别和校正规则》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC608)提出并归口。
本文件起草单位:广东工业大学、大连大学、清华大学、中国科学院化学研究所、赛默飞世尔科技(中
国)有限公司。
本文件主要起草人:严楷、王舰、高星星、姚文清、刘芬、许燕滨、葛青亲。
引 言
X射线光电子能谱的基础是用软X射线辐照样品表面,并以光电子和俄歇电子的形式检验激发发
射。在其最广泛使用的模式中,X射线束流密度低且辐照面积大。因此,该技术通常被视为用于材料表
面分析现有“束”技术中破坏性最小的技术之一。该技术的使用越来越广泛,使得能实现准确信息检索
的一套规则的建立变得非常重要,而本文件则有助于满足这一需求。
在许多情况下,所需成分分析的表面上会附着一层污染膜,这层膜通常是有机性质的,由大气中的
分子吸附、表面暴露在工作或测试环境中或由谱仪本身引起。这层膜会对谱图的不同区域造成不同程
度的衰减,这取决于该区域中发射电子的动能。因此,校正和消除这种影响对基材的表面成分分析是必
要的。所描述的程序能识别含碳污染物的存在、估算其厚度、并去除其对测定表面成分的影响。因而它
是XPS全扫描谱的定量评估中数据规约的重要组成部分。这可在一个数据系统内实现自动化,同时将
是为一些依赖表面分析的技术提供从全扫描谱中自动检索信息手段的必要的第一步。
所描述的全部程序仅基于以第22届[9]和第34届[10]国际真空科学技术与应用联合会研讨会结论
中建议的方式获得的X射线光电子能谱(XPS)全扫描谱,这些程序可在不需要能谱专家干预的情况下
进行,并可在自动化数据系统中得以应用。
表面化学分析 X射线光电子能谱全扫
描谱的准实时信息 含碳化合物表面
污染的识别和校正规则
1 范围
本文件描述了对材料薄膜进行协助表面分析的方法,这些薄膜不含有碳化合物作为预期成分,但在
全扫描谱中观察到C1s峰。这些薄膜可通过有氧或电化学氧化在金属和合金上生成,也可沉积在惰性
基底上的。所述程序不适用于在基底上颗粒的不连续沉积。除此之外,还提供了一个可从含碳的表面
污染物中识别C1s信号的简单程序。当C1s峰被确定为来自于外来的覆盖层时,从全谱中得出的成
分可针对其影响进行校正。建议的程序以“如果-则”格式的简单规则结构形式所提供,目的是让它们所
包含的信息可被数据系统中的自动化程序所利用。所提供的规则仅利用从XPS全扫描(谱)中检索的
信息。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
区域 region
选择完全可获取的光激发谱进行详细采集(即“窄”扫描)的部分。
注:选择该区域可能是因为它包含一个特定元素的主要或次要峰,或代表该能量范围内本底的形状或轮廓。
3.2
全扫描 surveyscan
在给定X射线源所激发的光电子能谱中主要部分进行扫描或一系列扫描。
3.3
目标 goal
目标的实现是图谱解析过程的一部分。
注:例......
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