[PDF] JB/T 5630-1991 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| JB/T 5630-1991 | 199 | JB/T 5630-1991 | <=2 | 半导体器件扩散炉 能耗分等 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | JB/T 5630-1991 (JB/T5630-1991) |
| 中文名称 | 半导体器件扩散炉 能耗分等 |
| 英文名称 | Diffusion furnace for semiconductor devices. Grading of energy consumption |
| 行业 | 机械行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | J01 |
| 字数估计 | 4,493 |
| 发布日期 | 9/13/1991 |
| 实施日期 | 7/1/1992 |
| 范围 | 本标准规定了半导体器件扩散炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。 |
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