路径: 主页 > JJ > 第10页 > JJF 1613-2017 | 标准编号 | JJF 1613-2017 (JJF1613-2017) | | 中文名称 | 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A58 | | 国际标准分类 | 17.240 | | 字数估计 | 15,145 | | 发布日期 | 2017-02-28 | | 实施日期 | 2017-05-28 | | 引用标准 | JJG 629-2014; JJF 1071 | | 采用标准 | ISO 18613-2013, NEQ | | 标准依据 | General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine No. 23 of 2017 | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。 | JJF 1613-2017
Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
中华人民共和国国家计量技术规范
掠入射X射线反射膜厚测量仪器
校准规范
2017-02-28发布
2017-05-28实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
掠入射X射线反射膜厚测量仪器
校准规范
归 口 单 位:全国新材料与纳米计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:常州市计量测试技术研究所
本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
任玲玲 (中国计量科学研究院)
高慧芳 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
周志峰 (常州市计量测试技术研究所)
目 录
引言 (Ⅲ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 概述 (1)
4 计量特性 (1)
4.1 仪器2θ角示值误差及重复性 (1)
4.2 膜厚测量示值误差 (1)
4.3 膜厚测量重复性 (1)
5 校准条件 (1)
5.1 环境条件 (1)
5.2 测量标准及其他设备 (2)
6 校准项目和校准方法 (2)
6.1 校准项目 (2)
6.2 校准方法 (2)
7 校准结果表达 (3)
8 复校时间间隔 (3)
附录A 仪器膜厚测量示值误差的不确定度评定示例 (4)
附录B 校准记录格式 (7)
附录C 校准证书 (内页)格式 (9)
引 言
JJF1071 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001 《通用计量术语及定义》、
JJF1059.1 《测量不确定度评定与表示》和JJF1094 《测量仪器特性评定》共同构成支
撑本规范制定工作的基础性系列规范。
本规范参考了ISO 16413:2013 《X射线反射法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度
本规范为首次发布。
掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
1 范围
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器 (以下简称仪器)的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJG629-2014 多晶X射线衍射仪检定规程
JJF1071 国家计量校准规范编写规则
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 概述
仪器一般由准直的入射X射线光源、样品台、探测系统等部分组成 (见图1)。其
工作原理为:当X射线以很小的角度入射到样品表面时会发生界面反射,经膜层后反
射强度会发生变化,得到反射强度和反射角的关系,通过数据处理可得到膜层厚度。
图1 仪器结构示意图
4 计量特性
4.1 仪器2θ角示值误差及重复性
仪器2θ角示值误差应在±0.02°以内;重复性以标准偏差表示,应不超过0.002°。
4.2 膜厚测量示值误差
仪器膜厚测量示值相对误差应不超过±6%。
4.3 膜厚测量重复性
仪器膜厚测量重复性应......
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