[PDF] SJ 21131-2016 - 中国标准 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ 21131-2016 | 499 | SJ 21131-2016 | <=4 | 反应离子刻蚀机通用规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ 21131-2016 (SJ21131-2016) |
| 中文名称 | 反应离子刻蚀机通用规范 |
| 英文名称 | (General specification for reactive ion etching machines) |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 中标分类 | L95 |
| 字数估计 | 20,221 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
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