[PDF] SJ 21258-2018 - 中国标准 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ 21258-2018 | 399 | SJ 21258-2018 | <=4 | 干法刻蚀设备工艺验证方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ 21258-2018 (SJ21258-2018) |
| 中文名称 | 干法刻蚀设备工艺验证方法 |
| 英文名称 | (Dry etching equipment process verification method) |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 中标分类 | L95 |
| 字数估计 | 16,128 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
......