[PDF] SJ 21630-2021 - 中国标准 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ 21630-2021 | 249 | SJ 21630-2021 | <=3 | 碳化硅(SiC)离子注入设备工艺验证方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ 21630-2021 (SJ21630-2021) |
| 中文名称 | 碳化硅(SiC)离子注入设备工艺验证方法 |
| 英文名称 | (Process verification method for silicon carbide (SiC) ion implantation equipment) |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 中标分类 | L95 |
| 国际标准分类 | 31.240 |
| 字数估计 | 11,199 |
| 发布日期 | 2021-12-27 |
| 实施日期 | 2022-03-01 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
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