[PDF] SJ/T 10312-1992 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 10312-1992 | 459 | SJ/T 10312-1992 | <=3 | 电子束曝光机通用技术条件 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 10312-1992 (SJ/T10312-1992) |
| 中文名称 | 电子束曝光机通用技术条件 |
| 英文名称 | General specification of electron beam exposure system |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | N38;L99 |
| 字数估计 | 13,110 |
| 发布日期 | 6/15/1992 |
| 实施日期 | 12/1/1992 |
| 引用标准 | SJ/Z 1793; SJ 1276; JB 8; GBN 193; GB 191; GB 6388 |
| 范围 | 本标准规定了电子束曝光机(以下简称曝光机)的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。 |
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