[PDF] SJ/T 11131-1997 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 11131-1997 | 159 | SJ/T 11131-1997 | <=2 | 蒸发镀膜设备基本参数系列 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11131-1997 (SJ/T11131-1997) |
| 中文名称 | 蒸发镀膜设备基本参数系列 |
| 英文名称 | Basic parameter series of evaporation plating equipment |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L95 |
| 国际标准分类 | 31.02 |
| 字数估计 | 4,444 |
| 发布日期 | 9/3/1997 |
| 实施日期 | 1/1/1998 |
| 旧标准 (被替代) | SJ 1098-1977; SJ 1099-1977 |
| 范围 | 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 |
......