[PDF] SJ/T 11181-1998 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 11181-1998 | 319 | SJ/T 11181-1998 | <=3 | 净化涂胶台通用规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11181-1998 (SJ/T11181-1998) |
| 中文名称 | 净化涂胶台通用规范 |
| 英文名称 | General specification for resist-coating stage with purified room |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97 |
| 国际标准分类 | 31.02 |
| 字数估计 | 8,898 |
| 发布日期 | 3/11/1998 |
| 实施日期 | 5/1/1998 |
| 引用标准 | GB 191-1990; GB 2684-1981; GB 2682-1984; GB 3768-1983; GB 5226-1985; GB 6388-1986; SJ/T 142-1996; SJ/T 10152-1991; SJ/T 10386-1993; SJ 20385-1993 |
| 标准依据 | 工科(2010) 第77号 |
| 范围 | 本标准规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备, 其它类型的涂胶设备也可参照使用。 |
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