[PDF] SJ/T 11829.2-2022 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 11829.2-2022 | 339 | SJ/T 11829.2-2022 | <=4 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备 |
| 基本信息 | |
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| 标准编号 | SJ/T 11829.2-2022 (SJ/T11829.2-2022) |
| 中文名称 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备 |
| 英文名称 | (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Equipment for Crystalline Silicon Photovoltaic Cells - Part 2: Plate PECVD Equipment) |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 字数估计 | 17,147 |
| 发布日期 | 2022-09-30 |
| 实施日期 | 2023-01-01 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀 积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验 方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶 体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微 晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx） 薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光 伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。 |
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