[PDF] SJ/T 11853-2022 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 11853-2022 | 349 | SJ/T 11853-2022 | <=3 | 正压悬浮区熔单晶硅炉 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11853-2022 (SJ/T11853-2022) |
| 中文名称 | 正压悬浮区熔单晶硅炉 |
| 英文名称 | (Positive pressure suspension zone melting single crystal silicon furnace) |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 字数估计 | 14,123 |
| 发布日期 | 2022-09-30 |
| 实施日期 | 2023-01-01 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本文件规定了正压悬浮区熔单晶硅炉的产品标记和主要参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。适用于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长的单晶硅炉。 |
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