[PDF] SJ/T 31096-1994 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 31096-1994 | 179 | SJ/T 31096-1994 | <=2 | 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 31096-1994 (SJ/T31096-1994) |
| 中文名称 | 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 |
| 英文名称 | Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97;J55 |
| 字数估计 | 4,471 |
| 发布日期 | 4/15/1994 |
| 实施日期 | 6/1/1994 |
| 范围 | 本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。 |
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