[PDF] SJ/T 31100-1994 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 31100-1994 | 199 | SJ/T 31100-1994 | <=2 | 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 31100-1994 (SJ/T31100-1994) |
| 中文名称 | 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法 |
| 英文名称 | Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ion beam etching machines |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97;J59 |
| 字数估计 | 5,571 |
| 发布日期 | 4/15/1994 |
| 实施日期 | 6/1/1994 |
| 范围 | 本标准规定了半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。 |
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