路径: 主页 > YS/T > 第4页 > YS/T 1031-2015 | 标准编号 | YS/T 1031-2015 (YS/T1031-2015) | | 中文名称 | 化学气相沉积炉 | | 英文名称 | Chemical vapor deposition furnace | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H91 | | 国际标准分类 | 77.18 | | 字数估计 | 9,956 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 3163-2007; GB 5959.1; GB 5959.4; GB/T 10066.1-2004; GB/T 10066.4-2004; GB/T 10067.1-2005; GB/T 10067.4-2005; JB/T 10550-2006; YS/T 778-2011 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于化学气相沉积。 | YS/T 1031-2015
(CVD furnace)
ICS 77.180
H91
中华人民共和国有色金属行业标准
化 学 气 相 沉 积 炉
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。
化 学 气 相 沉 积 炉
1 范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和
合同(或订货单)内容。
本标准适用于化学气相沉积。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3163-2007 真空技术 术语
GB 5959.1 电热装置的安全 第1部分:通用要求
GB 5959.4 电热装置的安全 第4部分:对电阻加热装置的特殊要求
GB/T 10066.1-2004 电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
GB/T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阻炉
GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分:间接电阻炉
JB/T 10550-2006 真空技术 真空烧结炉
YS/T 778-2011 真空脱脂烧结炉
3 术语和定义
GB/T 3163-2007、GB/T 10066.4-2004、JB/T 10550-2006、YS/T 778-2011界定的术语和定
义适用于本文件。
4 要求
4.1 分类
化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型,按炉型
及工作区域尺寸分为13种型号,见表1和表2。
4.2 型号表示规则
4.2.1 卧式化学气相沉积炉的型号表示
卧式化学气相沉积炉的型号表示由HCVD(其中 H表示卧式;CVD表示化学气相沉积)......
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