[PDF] YS/T 1060-2015 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| YS/T 1060-2015 | 189 | YS/T 1060-2015 | <=3 | 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | YS/T 1060-2015 (YS/T1060-2015) |
| 中文名称 | 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 |
| 英文名称 | Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy. Gas chromatographic method |
| 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.040.30 |
| 字数估计 | 8,854 |
| 发布日期 | 2015-04-30 |
| 实施日期 | 2015-10-01 |
| 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氧二氢硅、四氧化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。 |
YS/T 1060-2015
(Epitaxial silicon with trichlorosilane other chlorosilanes content by gas chromatography)
ICS 77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的
测定 气相色谱法
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限
公司。
本标准主要起草人:刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕。
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的
测定 气相色谱法
1 范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定
方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下
限为0.002%。
2 方法提要
三氯氢硅样品在惰性气体(氮气或氩气)保护下注入气相色谱仪,各组分经色谱柱分离后,用热导池
检测器检测,用峰面积归一化法计算。
3 试剂
3.1 载气氢气,体积分数≥99.999%。
3.2 惰性气体,体积分数≥99.999%。
4 仪器
4.1 气相色谱仪:配有热导池检测器(TCD)和相应的色谱工作站,检测限为0.001%。
4.2 色谱柱:不锈钢填充柱,固定液为25%DC-550,规格为ϕ3mm×2.5m,或其他等效色谱柱。
4.3 微量注射器:10μL。
5 干扰因素
5.1 样品宜置于冰箱中冷冻保存,防止样品挥发损失。
5.2 室内湿度应控制在40%以下,防止环境湿度对样品的影响。
5.3 惰性气体操作箱内的空气应用干燥高纯惰性气体(如氮气)置换干净;否则样品水解,影响测试
结果。
6 分析步骤
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