路径: 主页 > YS/T > 第5页 > YS/T 1063-2015 | 标准编号 | YS/T 1063-2015 (YS/T1063-2015) | | 中文名称 | 钼靶材 | | 英文名称 | Molybdenum target | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H72 | | 国际标准分类 | 77.16 | | 字数估计 | 8,841 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 3876; GB/T 4196; GB/T 4197; GB/T 4325.1; GB/T 4325.2; GB/T 4325.3; GB/T 4325.4; GB/T 4325.5; GB/T 4325.6; GB/T 4325.7; GB/T 4325.8; GB/T 4325.9; GB/T 4325.10; GB/T 4325.11; GB/T 4325.12; GB/T 4325.13; GB/T 4325.14; GB/T 4325.15; GB/T 4325.16; GB/T 4325.17; GB/T 4325.18; | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了溅射镀膜用钼靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于采用粉末冶金烧结方法和烧结后再压力加工方法制造的钼靶材, 该把材主要适用于光伏太阳能面板、平面显示器和触摸屏面板制造等行业。 | YS/T 1063-2015
Molybdenum target
ICS 77.160
H72
中华人民共和国有色金属行业标准
钼 靶 材
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、宁波江丰电子材料
股份有限公司、北矿新材科技有限公司、湖南有色新材料科技有限公司、宜兴市科兴合金材料有限公司、
有研亿金新材料有限公司。
本标准主要起草人:淡新国、侯军涛、李长亮、苏国平、王学泽、刘家均、李鹏、俞叶、熊晓东。
钼 靶 材
1 范围
本标准规定了溅射镀膜用钼靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书
和合同(或订货单)内容。
本标准适用于采用粉末冶金烧结方法和烧结后再压力加工方法制造的钼靶材,该靶材主要适用于
光伏太阳能面板、平面显示器和触摸屏面板制造等行业。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3876 钼及钼合金板
GB/T 4196 钨、钼条密度测定方法
GB/T 4197 钨、钼及其合金的烧结坯条、棒材晶粒度测试方法
GB/T 4325(所有部分) 钼化学分析方法
GB/T 17792 钼及钼合金棒
YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
JB/T 4009 接触式超声纵波直射探伤方法
3 要求
3.1 产品分类
产品按供货状态分为烧结态和压力加工态两类,其制造方法、供货状态及形状见表1。
表1 产品制造方法、供货状态及形状
制造方法 供货状态 形状
烧结-机加工 烧结态
烧结-压力加工-再结晶退火-机加工 压力加工态
矩形、管形
3.2 化学成分
靶材的化学成分应符合表2的......
|