[PDF] YS/T 15-1991 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| YS/T 15-1991 | 239 | YS/T 15-1991 | <=2 | 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | YS/T 15-1991 (YS/T15-1991) |
| 中文名称 | 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法 |
| 英文名称 | Thcikness determination for silicon epitaxial layer and difussion layer - Angle lap-stain method |
| 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H82 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 6,654 |
| 发布日期 | 4/26/1991 |
| 实施日期 | 6/1/1992 |
| 引用标准 | GB 1550 |
| 范围 | 本标准规定了硅外延层和扩散层厚度 磨角染色达测试方法。本标准适用于薄层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的薄层厚度测量。测量1～25 μm。 |
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