[PDF] YS/T 1740-2025 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| YS/T 1740-2025 | RFQ | 点击询价 | <=3 | 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | YS/T 1740-2025 (YS/T1740-2025) |
| 中文名称 | 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 |
| 英文名称 | Evaluation method for chemical vapor deposition of electronic grade trichlorosilane |
| 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.04 |
| 发布日期 | 2025-04-10 |
| 实施日期 | 2025-11-01 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价 |
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