路径: 主页 > YS/T > 第11页 > YS/T 898-2013 | 标准编号 | YS/T 898-2013 (YS/T898-2013) | | 中文名称 | 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 | | 英文名称 | Methods for chemical analysis of the high purity tantalum. Determination of trace impurity element content. Inductively coupled plasma mass spectrometry | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H63 | | 国际标准分类 | 77.120.99 | | 字数估计 | 6,693 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2013年第52号;行业标准备案公告2014年第1号(总第169号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了高纯钽中锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅和铋量的测定方法。本标准适用于高纯钽中痕量杂质的测定, 测定范围:0.0001%～0.010%。 | YS/T 898-2013
ICS 77.120.99
H63
中华人民共和国有色金属行业标准
高纯钽化学分析方法
痕量杂质元素的测定
电感耦合等离子体质谱法
2013-10-17发布
2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:北京有色金属研究总院、金川新材料科技股份有限公司、东方电气集团峨嵋半导
体材料有限公司。
本标准主要起草人:李艳芬、张殿凯、刘英、孙泽明、童坚、臧慕文、张江峰、邱平、文英。
高纯钽化学分析方法
痕量杂质元素的测定
电感耦合等离子体质谱法
1 范围
本标准规定了高纯钽中锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、
铪、钨、铅和铋量的测定方法。
本标准适用于高纯钽中痕量杂质的测定,测定范围:0.0001%~0.010%。
2 方法提要
试料用硝酸和氢氟酸溶解,以铯内标进行校正,用电感耦合等离子体质谱仪直接测定,按工作曲线
法计算各元素的质量浓度,以质量分数表示测定结果。
3 试剂
除非另有说明,分析中所用的试剂均为优级纯;所用水为一级水。
3.1 氢氟酸(ρ=1.16g/mL)
3.2 硝酸(ρ=1.42g/mL)
3.3 硝酸(1+1)。
3.4 锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅、铋和铯单元
素标准贮存溶液(国家标准样品/国家标准物质),质量浓度为1000μg/mL。
3.5 混合标准溶液A:分别移取10.00mL各元素标准贮存溶液(铯元素除外)(3.4)于1000mL塑料
容量瓶中,补加2mL氢氟酸(3.1),20mL硝酸(3.3),用水稀释至刻度,混匀。此溶液1mL含锂、铍、
硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅和铋各10μg。
3.6 混合标准溶液B:移取10.00mL混合标准溶液A(3.5)于100mL塑料容量瓶中,补加2mL硝酸
(3.3),用水稀释至刻度,混匀。此溶液1mL含锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、
锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅和铋各1μg,用时现配。
3.7 铯内标溶液:移取1.00mL铯元素标准贮存溶液(3.4)于1000mL塑料容量瓶中,用水稀释至刻
度,混匀。此溶液1mL含铯1μg。
4 仪器
4.1 电感耦合等离子体质谱仪......
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