路径: 主页 > YS/T > 第8页 > YS/T 937-2013 | 标准编号 | YS/T 937-2013 (YS/T937-2013) | | 中文名称 | 镍铂靶材 | | 英文名称 | Nickel-platinum target | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 字数估计 | 21,284 | | 引用标准 | GB/T 1031; GB/T 6394; GB/T 14265; GB/T 15077; GJB 1580A; YS/T 837 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2013年第52号;行业标准备案公告2014年第1号(总第169号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。 | YS/T 937-2013
Nickel-platinum target
ICS 77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
镍 铂 靶 材
2013-10-17发布
2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、
李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。
镍 铂 靶 材
1 范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同
(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材 target
溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在阳极表面沉积。
3.2
靶坯 targetblank
阴极上用作目标材料的部分。
3.3
背板 backingplate
用来支撑或固定靶坯的部分。靶材与......
|