路径: 主页 > YS/T > 第21页 > YS/T 983-2014 | 标准编号 | YS/T 983-2014 (YS/T983-2014) | | 中文名称 | 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法 | | 英文名称 | Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 7,791 | | 发布日期 | 10/14/2014 | | 实施日期 | 4/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 7445; GB/T 8979 | | 标准依据 | 中华人民共和国工业和信息化部公告2014年第63号;行业标准备案公告2014年第12号(总第180号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的侧定。检测范围为体积分数0.1%～100%。 | YS/T 983-2014
Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
ICS 77.040
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的
测定方法
2014-10-14发布
2015-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。
本标准参加起草单位:天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半
导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司。
本标准主要起草人:敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽。
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的
测定方法
1 范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和
四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 7445 纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮
3 方法提要
根据尾气中各个组分的沸点、极性及吸附性的差异,利用气相色谱将各个组分从色谱柱中分离,采
用热导检测器(TCD)检测其含量。
4 干扰因素
4.1 样品温度应不低于50℃,否则样品中部分氯硅烷组分会出现冷凝,使分析结果失去代表性。
4.2 尾气压力应保持在合适的范围,太大不易操作且不安全,太小容易导致样品无法采集至取样容
器内。
4.3 取样容器应保持密闭性,否则,样品泄漏会影响分析结果的准确性。
5 试剂和材料
除非另有说明,分析时均使用符合国家标准的试剂或材料。
5.1 高纯氢气,应符合GB/T 7445的规定。
5.2 高纯氮气,应符合GB/T 8979的规定。
6 仪器和设备
6.1 气相色谱仪:具备热导检测......
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