路径: 主页 > GB/T > 第265页 > GB/T 10067.410-2014 | 标准编号 | GB/T 10067.410-2014 (GB/T10067.410-2014) | | 中文名称 | 电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉 | | 英文名称 | Basic specifications for electroheat installations -- Part 410: Single crystal growing furnace | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | K61 | | 国际标准分类 | 25.180.10 | | 字数估计 | 14,140 | | 发布日期 | 12/5/2014 | | 实施日期 | 4/16/2015 | | 引用标准 | GB 150-2011; GB/T 2900.23-2008; GB 3095-2012; GB 8702-1998; GB 8978-1996; GB/T 10066.1-2004; GB/T 10066.4-2004; GB/T 10067.1-2005; GB/T 10067.4-2005; GB 12348-2008; GB 16297-1996; JB/T 9691-1999 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2014年第27号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。 | GB/T 10067.410-2014
Basic specifications for electroheat installations.Part 410:Single crystal growing furnace
ICS 25.180.10
K61
中华人民共和国国家标准
电热装置基本技术条件
第410部分:单晶炉
2014-12-05发布
2015-04-16实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
GB/T 10067《电热装置基本技术条件》现有19个部分:
---第1部分:通用部分;
---第2部分:电弧加热装置;
---第3部分:感应电热装置;
---第31部分:中频无心感应炉;
---第32部分:电压型变频多台中频无心感应炉成套装置;
---第33部分:工频无心感应熔铜炉;
---第4部分:间接电阻炉;
---第41部分:网带式电阻加热机组;
---第42部分:推送式电阻加热机组;
---第43部分:强迫对流井式电阻炉;
---第44部分:箱式电阻炉;
---第45部分:真空淬火炉;
---第46部分:罩式电阻炉;
---第47部分:真空热处理和钎焊炉;
---第48部分:台车式电阻炉;
---第49部分:自然对流井式电阻炉;
---第410部分:单晶炉;
---第411部分:电热浴炉;
---第5部分:高频介质加热设备。
根据需要还将陆续制定其他部分。
本部分为GB/T 10067的第410部分,应与GB/T 10067的第1部分和第4部分配合使用。
本部分按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本部分由中国电器工业协会提出。
本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC121)归口。
本部分起草单位:西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科
股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。
本部分主要起草人:陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳。
电热装置基本技术条件
第410部分:单晶炉
1 范围
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以
及标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 150-2011 钢制压力容器
GB/T 2900.23-2008 电工术语 工业电热装置
GB 3095-2012 环境空气质量标准
GB 8702-1998 电磁辐射防护规定
GB 8978-1996 污水综合排放标准
GB/T 10066.1-2004 电热设备的试验方法 第1部分:通用部分
GB/T 10066.4-2004 电热设备的试验方法 第4部分:间接电阻炉
GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用部分
GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分:间接电阻炉
GB 12348-2008 工业企业厂界环境噪声排放标准
GB 16297-1996 大气污染物综合排放标准
JB/T 9691-1999 电热设备 产品型号编制方法
3 术语和定义
GB/T 2900.23-2008、GB/T 10066.4-2004界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
利用直拉法(czochralskimethod)或区熔法(floatingzone)拉制半导体单晶材料的一种工业电热
设备。
3.2
熔料量 charge
单晶炉设计时规定的每炉次一次最大的装料量,不包括拉晶过程中添加的量。
3.3
直拉法 czochralskimethod
......
|