标准搜索结果: 'GB/T 11446.9-2013'
| 标准编号 | GB/T 11446.9-2013 (GB/T11446.9-2013) | | 中文名称 | 电子级水中微粒的仪器测试方法 | | 英文名称 | Test method for particles in electronic grade water by instrument | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31.030 | | 字数估计 | 6,653 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 11446.9-1997 | | 引用标准 | GB/T 11446.1-2013; GB/T 11446.3-2013 | | 起草单位 | 信息产业部专用材料质量监督检验中心 | | 归口单位 | 中国电子技术标准化研究院 | | 标准依据 | 国家标准公告2013年第27号 | | 提出机构 | 中华人民共和国工业和信息化部 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数, 测定的微粒粒径不小于0.05μm, 微粒的浓度范围为0～10000个/mL。 | GB/T 11446.9-2013: 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.9-2013 英文名称: Test method for particles in electronic grade water by instrument
1 范围
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的
浓度范围为0~10000个/mL。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
3 术语和定义
GB/T 11446.3-2013界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微粒
粒状物,除去气体,非均匀地分散在水中的非液态物质。
4 方法原理
一束经聚焦的激光垂直于水样流向方向入射,水中的微粒将产生光散射效应,散射光的强度与微粒
的大小具有一定的关系,散射光经聚光镜会聚到光电倍增管,将光信号变成电脉冲,电脉冲的数目和幅
度分别与水中微粒的数目和直径成正比。电脉冲信号经放大输入计算机处理后,可直接获得微粒浓度
的测量结果。测量原理方框图如图1所示。
5 干扰因素
5.1 采样过程,容器、环境及检测腔的污染,水中的气泡和测量过程的振动,水流速度的变化等因素都
会影响测量结果,因此,测量应在100级或100级以上的洁净室内进行。水流速度应稳定。水样不能搅
动,取样后应静置30min后再测定。
5.2 环境温度影响分析结果的稳定性,实验室和环境的温度应在10℃~30℃之间。
5.3 仪器正常与否直接影响测定结果,使用时应按国家规定的检定周期进行检定。
6 试剂
6.1 空白用水:GB/T 11446.1-2013规定的EW-Ⅰ级电子级水。
7 测量仪器
带有微机的激光散射式亚微米级液体中粒子计数和检测仪器。
8 操作步骤
8.1 仪器测试前的准备
按仪器说明书开启电源,使仪器进入准备工作状态。
8.2 测试方式
8.2.1 连续采样
先用去油洗涤剂清洗管道,再通EW-Ⅰ级电子级水冲洗30min,按仪器连续测试的操作规程进行
测试。
8.2.2 单次采样
先用去油洗涤剂清洗采样瓶,再用EW-Ⅰ级电子级水清洗,然后取采样瓶4/5体积的水样并加盖
置于洁净室中备用。采样瓶在取样前,用孔径0.02μm微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取样时应防止
外界的污染。然后按仪器单次测试的操作规程进行测量。
9 测量......
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