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| 标准编号 | GB/T 14015-1992 (GB/T14015-1992) | | 中文名称 | 硅-兰宝石外延片 | | 英文名称 | Silicon on sapphire epitaxial wafers | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 29.040.30 | | 字数估计 | 8,816 | | 发布日期 | 12/28/1992 | | 实施日期 | 8/1/1993 | | 引用标准 | GB 6624; GB 2828; GB/T 13843; SJ 2446, | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。 |
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