路径: 主页 > GB/T > 第201页 > GB/T 15871-1995 | 标准编号 | GB/T 15871-1995 (GB/T15871-1995) | | 中文名称 | 硬面光掩模基板 | | 英文名称 | Hard surface photomask substrates | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 国际标准分类 | 31.03 | | 字数估计 | 11,132 | | 发布日期 | 12/22/1995 | | 实施日期 | 8/1/1996 | | 采用标准 | SEMI P1-1992, NEQ | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板)。 | ......
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