路径: 主页 > GB/T > 第256页 > GB/T 15873-1995 | 标准编号 | GB/T 15873-1995 (GB/T15873-1995) | | 中文名称 | 半导体设施接口技术文件编写导则 | | 英文名称 | Directives for drafting semiconductor facilities interface specification | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L04 | | 国际标准分类 | 31.220.10 | | 字数估计 | 13,128 | | 发布日期 | 12/22/1995 | | 实施日期 | 8/1/1996 | | 引用标准 | GB/T 13840 | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了半导体设施接口技术文件(以下简称接口文件)编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。 | ......
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