路径: 主页 > GB/T > 第239页 > GB/T 16523-1996 | 标准编号 | GB/T 16523-1996 (GB/T16523-1996) | | 中文名称 | 圆形石英玻璃光掩模基板规范 | | 英文名称 | Specification for round quartz photomask substrates | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L55 | | 国际标准分类 | 31.2 | | 字数估计 | 8,840 | | 发布日期 | 9/9/1996 | | 实施日期 | 5/1/1997 | | 引用标准 | GB 191-1990; GB 2828-1987; GB 2829-1987; GB 7328-1987; GB 9622.2-1988, | | 采用标准 | SEMI P4-1992, MOD | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。 | ......
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