路径: 主页 > GB/T > 第239页 > GB/T 16524-1996 | 标准编号 | GB/T 16524-1996 (GB/T16524-1996) | | 中文名称 | 光掩模对准标记规范 | | 英文名称 | Specification for registration marks for photomasks | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L55 | | 国际标准分类 | 31.2 | | 字数估计 | 4,449 | | 发布日期 | 9/9/1996 | | 实施日期 | 5/1/1997 | | 引用标准 | SJ/T 10152-1991; SJ/T 10584-1994, | | 采用标准 | SEMI P6-1988, MOD | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本标准适用于光掩模。 | ......
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