路径: 主页 > GB/T > 第201页 > GB/T 16878-1997 | 标准编号 | GB/T 16878-1997 (GB/T16878-1997) | | 中文名称 | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | | 英文名称 | Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 国际标准分类 | 31.02 | | 字数估计 | 11,178 | | 发布日期 | 6/20/1997 | | 实施日期 | 3/1/1998 | | 采用标准 | SMEI P19-1992, IDT | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本规范规定若干种标准测试图形, 用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。本规范针对线宽计量、分辨率测试和邻近效应测试的需要, 规定若干种基本测试图形单元的形状、一般尺寸、以及推荐的布局和设计规则。这些标准图形包括可供光学显微镜、电子显微镜和电子探针测量用的各种图形单元。本规范不规定验证母版上测试图形关键尺寸的测量技术, 也不规定如何测量大圆片上的光刻图形, 只规定若干种必要的基本测试图形, 以及用户实施符合本规范的实际测试图形。 | ......
|