路径: 主页 > GB/T > 第201页 > GB/T 16879-1997 | 标准编号 | GB/T 16879-1997 (GB/T16879-1997) | | 中文名称 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | | 英文名称 | Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 国际标准分类 | 31.02 | | 字数估计 | 6,676 | | 发布日期 | 6/20/1997 | | 实施日期 | 3/1/1998 | | 采用标准 | SEMI P21-1992, IDT | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的, 掩模制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以, 曝光条件应经厂家和用户双方同意。 | ......
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