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[PDF] GB/T 16943-2009 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
GB/T 16943-2009	英文版	189	GB/T 16943-2009	[PDF]天数 >=3	电子工业用气体　氦	有效

基本信息
标准编号	GB/T 16943-2009 (GB/T16943-2009)
中文名称	电子工业用气体　氦
英文名称	Gas for electronic industry -- Helium
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	G86
国际标准分类	71.100.20
字数估计	8,827
发布日期	2009-10-30
实施日期	2010-05-01
旧标准 (被替代)	GB/T 16943-1997
引用标准	GB 190-2009; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.1; GB/T 6285; GB 7144; GB/T 8984; GB 14194; GB 16912; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全监察规程; 压力管道安全管理与监察规定
标准依据	国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号)
发布机构	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
范围	本标准规定了氦的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和众态氦, 以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气, 也用作载气和保护气等。

GB/T 16943-2009 Gas for electronic industry.Helium ICS ７１．１００．２０ G８６中华人民共和国国家标准 GB/T １６９４３-２００９代替GB/T １６９４３-１９９７电子工业用气体　氦２００９-１０-３０发布２０１０-０５-０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准代替GB/T １６９４３-１９９７《电子工业用气体　氦》。本标准与GB/T １６９４３-１９９７相比主要变化如下： ---修改氦的适用范围（GB/T １６９４３-１９９７的第１章，本版的第１章）； ---修改规范性引用文件（GB/T １６９４３-１９９７的第２章，本版的第２章）； ---修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量（GB/T １６９４３-１９９７的第３章，本版的第３章）； ---修改瓶装氦抽样方法（GB/T １６９４３-１９９７的４．１，本版的４．１．１）； ---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氦产品并规定检验方法（见４．１．１）； ---增加管道输送的氦产品并规定检验方法（见４．１．２）； ---增加氦的采样安全要求（见４．１．３）； ---增加新的分析方法：增加用氦放电离子化气相色谱法测定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳组分；增加其他方法测定总烃含量；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见４．３）； ---修改水分的测定方法（GB/T １６９４５-１９９７的４．５，本版的４．５）； ---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １６９４３-１９９７的第５章，本版的第５章）； ---增加安全要求（见５．６）； ---增加规范性附录Ａ，并把采用氦离子化气相色谱法测定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组分的方法写入该附录（见附录Ａ）。本标准的附录Ａ为规范性附录。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人：刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ---GB/T １６９４３-１９９７。 GB/T １６９４３-２００９电子工业用气体　氦１　范围本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。分子式：Ｈｅ。相对分子质量：４．００３（按２００５年国际相对原子质量）。２　规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB １９０-２００９　危险货物包装标志 GB/T ３７２３　工业用化学产品采样安全通则 GB ５０９９　钢质无缝气瓶 GB/T ５８３２．１　气体中湿度的测定　电解法 GB/T ６２８５　气体中微量氧的测定　电化学法 GB ７１４４　气瓶颜色标志 GB/T ８９８４　气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定　气相色谱法 GB １４１９４　永久气体气瓶充装规定 GB １６９１２　深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程气瓶安全监察规程压力容器安全监察规程压力管道安全管理与监察规定３　技术要求３．１　氦的质量应符合表１的要求。表１　技术指标项目指标氦气（Ｈｅ）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９９９．９９９５一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）总含量（体积分数）／１０-６＜一氧化碳：０．１二氧化碳：０．１氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６＜０．５２氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６＜０．２０．５总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６＜０．１０．５......

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