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[PDF] GB/T 22572-2008 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
GB/T 22572-2008	英文版	134	GB/T 22572-2008	[PDF]天数 >=3	表面化学分析　二次离子质谱　用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法	有效

基本信息
标准编号	GB/T 22572-2008 (GB/T22572-2008)
中文名称	表面化学分析　二次离子质谱　用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
英文名称	Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	G04
国际标准分类	71.040.40
字数估计	7,710
发布日期	2008-12-11
实施日期	2009-10-01
引用标准	GB/T 22461
采用标准	ISO 20341-2003, IDT
标准依据	国家标准批准发布公告2008年第19号(总第132号)
发布机构	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
范围	本标准详细说明了在SIMS深度剖析中, 用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定, 本标准不适用于近表面区域的δ层。

GB/T 22572-2008 Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials ICS ７１．０４０．４０ G０４中华人民共和国国家标准 GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３表面化学分析　二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法（ISO ２０３４１：２００３，ＩＤＴ）２００８-１２-１１发布２００９-１０-０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准等同采用ISO ２０３４１：２００３《表面化学分析---二次离子质谱---用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》。为便于使用，本标准对ISO ２０３４１：２００３做了下列编辑性修改： ---删除了原国际标准的前言部分； ---将本国际标准改为本标准。本标准的附录Ａ为规范性附录。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。 GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３引言深度分辨是二次离子质谱（ＳＩＭＳ）深度剖析的一个重要参数。然而，在ＳＩＭＳ分析中，影响溅射深度剖析结果的因素很多，包括离子束诱导的混合和偏析、电荷驱动的扩散、基体效应、弧坑形状和表面微形貌等。只有了解并尽量降低以上因素的影响，才能得到最佳的深度分辨。获取最佳的深度分辨通常要求特定的分析条件，包括超低的一次离子束能量、掠入射、旋转样品、低温冷却样品等，所有这些条件在常规的ＳＩＭＳ分析中都很难满足。此外，对每一种样品所要求的最佳分析参数可能很不相同。进而，各种仪器因素，如弧坑的形状、离子束的同一性、弧坑边沿效应的消除、质量干扰、记忆效应、残气效应等，也会影响深度分辨的各个方面。因此，在常规的ＳＩＭＳ分析条件下，难以直接评估深度分辨。本标准阐述了前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽的概念，提出了每个参数的测量步骤。多δ层参考物质就可用于评估在常规ＳＩＭＳ分析条件下的深度分辨参数。 GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３表面化学分析　二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法１　范围本标准详细说明了在ＳＩＭＳ深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。２　规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T ２２４６１　表面化学分析　词汇（GB/T ２２４６１-２００８，ISO １８１１５：２００１，ＩＤＴ）３　符号 AＬ，AＴ　比例因子。 B，C 比例系数。 I（狕）随深度的二次离子强度。狕深度。狕０表观峰的深度。 λＬ前沿衰变长度。 λＴ后沿衰变长度。 σ 高斯展宽。４　多δ层参考物质的要求４．１　根据GB/T ２２４６１中δ层的定义，理想的δ层为单原子层。但是，并非总能够制作出δ层或验证单原子层厚度。如果没有理想的δ层可用，符合下面规定的非理想δ层也可作为参考物质。４．２　在ＳＩＭＳ深度剖析中溅射面层的基体不应改变，这样基体效应或剥蚀速率就不会有明显变化。穿过δ层时，基体元素二次离子强度的恒定表明基体没有变化。４．３　表面和δ层应该平整且相互平行，以避免ＳＩＭＳ深度剖析的任何失真。４．４　掺杂δ层的厚度应远小于一次离子的投影射程，这样厚度的微小变化不会影响剖析曲线的形状。４．５　相邻δ层的间距应足够大，使层与层间二次离子强度的谷值小于峰值的１％。４．６　δ层厚度、......

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