路径: 主页 > GB/T > 第397页 > GB/T 23611-2023 | 标准编号 | GB/T 23611-2023 (GB/T23611-2023) | | 中文名称 | 金及金合金靶材 | | 英文名称 | Gold and gold alloy targets | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 字数估计 | 10,197 | | 发布日期 | 2023-08-06 | | 实施日期 | 2024-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 23611-2009 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 23611-2023: 金及金合金靶材
ICS 77.150.99
CCSH68
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 23611-2009
金及金合金靶材
2023-08-06发布
2024-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
本文件代替GB/T 23611-2009《金靶材》,与GB/T 23611-2009相比,除结构调整和编辑性改动
外,主要技术变化如下:
a) 增加了“术语和定义”一章(见第3章);
b) 增加了AuGe及AuGeNi合金靶材品种(见4.1.2);
c) 增加了结构形式及供货状态(见4.1.4、4.1.5);
d) 增加了AuGe及AuGeNi合金靶材技术要求和试验方法(见5.1、6.1);
e) 增加了金靶材化学成分表(见5.1);
f) 增加了靶材焊接质量要求(见5.5);
g) 更改了金靶材外形尺寸及允许偏差(见5.6,2009年版的3.4);
h) 增加了矩形靶材外形尺寸及允许偏差要求(见5.6)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国有色金属工业协会提出。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本文件起草单位:有研亿金新材料有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、贵研铂业
股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研资源环境技术研究院(北京)有限公司、深圳市众
诚达应用材料科技有限公司。
本文件主要起草人:罗瑶、吕保国、江轩、王鹏、黄晓猛、窦程亮、关静、罗远辉、段华英、刘满门、朱武勋、
张博厚、林烽先、吴卫煌、黄勇彪。
本文件于2009年首次发布为GB/T 23611-2009《金靶材》,本次为第一次修订。
金及金合金靶材
1 范围
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存
及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材(以下简称“靶材”)。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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测定 电感耦合等离子体质谱法
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3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材 target
在溅射沉积技术中的阴极部分,该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在阳极表面沉积。
注:靶材由靶坯和背板组成。
3.2
靶坯 targrtblank
阴极上......
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