| 标准编号 | GB/T 24469-2009 (GB/T24469-2009) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 5N氯化氢 |
| 英文名称 | Gas for electronic industry. 5N hydrogen chloride |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 13,195 |
| 发布日期 | 2009-10-15 |
| 实施日期 | 2009-12-01 |
| 引用标准 | GB 190; GB 5099; GB/T 5832.2; GB/T 6681; GB 7144; GB 13004; GB 14193; GB 15258; GB 15382; GB/T 16942; GB/T 16943; GB/T 16944; GB 17265; 定量包装商品计量监督管理办法; 气瓶安全监察规程; 气瓶安全监察规定; 危险货物运输规则 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第11号(总第151号);国家标准公告2014年第30号 |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了电子工业用气体 5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 |