标准搜索结果: 'GB/T 25915.1-2021'
| 标准编号 | GB/T 25915.1-2021 (GB/T25915.1-2021) | | 中文名称 | 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 国际标准分类 | 13.040.35 | | 字数估计 | 38,365 | | 发布日期 | 2021-08-20 | | 实施日期 | 2022-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 25915.1-2010 | | 起草单位 | 中国电子工程设计院有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州市计量测试院、深圳市丽风净化工程有限公司、江苏嘉合建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、中国标准化协会、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、天津大学、吴江市华宇净化设备有限公司、上海科信检测科技有限公司、苏州华泰空气过滤器有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海奥宣净化科技有限公 | | 归口单位 | 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319) | | 提出机构 | 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319) | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 25915.1-2021
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
ICS 13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 25915.1-2010
洁净室及相关受控环境 第1部分:
按粒子浓度划分空气洁净度等级
(ISO 14644-1:2015,MOD)
2021-08-20发布
2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅴ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 分级 4
5 符合性的证明 5
附录A(规范性) 按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法 7
附录B(资料性) 等级划分计算实例 11
附录C(资料性) 悬浮大粒子的计数和测径 17
附录D(资料性) 序贯采样法 21
附录E(资料性) 非整数洁净度等级和粒径阈值的说明 27
附录F(资料性) 检测仪器 29
参考文献 30
前言
本文件按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
本文件是GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第1部分。GB/T 25915已经发布了以下部分:
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
---第3部分:检测方法;
---第4部分:设计、建造、启动;
---第5部分:运行;
---第6部分:词汇;
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。
本文件代替GB/T 25915.1-2010《洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级》,与
GB/T 25915.1-2010相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 第1章增加了粒子测定仪器要求(见第1章);
b) 增加了“规范性引用文件”(见第2章);
c) 第3章术语和定义中:
---修改了洁净室、洁净区、分级、粒子等定义(见3.1.1、3.1.2、3.1.4、3.2.1,2010年版的2.1.1);
---删除了超微粒子、纤维、U 描述符、需方、供方等术语(2010年版的2.2.5、2.2.7、2.3.1、
2.5.1、2.5.2);
---增加了单向流、非单向流、分辨率、最大允许测量误差、光散射(离散式)空气悬浮粒子计数
器、离散大粒子计数器、飞行时间测径仪等定义(见3.2.7、3.2.8、3.4.1、3.4.2、3.5.1、3.5.2、
3.5.3);
d) 增加了表1的注释(见表1);
e) 增加了明确应用粒径范围(见4.2);
f) 增加了非整数洁净度等级和粒径阈值(见4.5);
g) 修改了附录B、附录C的内容并整合到规范性附录A(见附录A,2010年版的附录B、附录C);
h) 将附录D的内容充实到附录B(见附录B,2010年版的附录D);
i) 删除附录E中超细粒子内容、丰富了大粒子的计数和测径技术要求整合到附录C(见附录C,
2010年版的附录E);
j) 修改了附录F并整合到附录D中(见附录F,2010年版的附录D);
k) 增加了非整数洁净度等级和粒径阈值说明(见附录E);
l) 删除了附录A“洁净度等级图示”(见2010年版的附录A)。
本文件修改采用ISO 14644-1:2015《洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净
度等级》。
本文件与ISO 14644-1:2015的技术差异及其原因如下:
---修改了规范性附录A中的公式(A.1)。原因是公式(A.1)适合于面积较小洁净室,对于我国
10000m2 以上大规模和超大规模洁净室,则暴露出其采样点过多和未采用较为合理抽样统
计原理的问题。
本文件做了下列编辑性改动:
---删除了资料性附录B中B.6.5。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:中国电子工程设计院有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州市计量测试院、
深圳市丽风净化工程有限公司、江苏嘉合建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、陕西中
电精泰电子工程有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、天俱时工程
科技集团有限公司、中国标准化协会、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、天津大
学、吴江市华宇净化设备有限公司、上海科信检测科技有限公司、苏州华泰空气过滤器有限公司、北京中
邦兴业科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海奥宣净化科技有限公司、广东省实验动
物监测所、苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司、深圳市君信达环境科技股份有限公司、法尔森科技(上
海)有限公司、广西华原过滤系统股份有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、灵汇机电工程(杭州)
有限公司、佛山市顺德区阿波罗环保器材有限公司、广东富瑞希空气净化过滤制品有限公司、上海誉净
环保科技有限公司。
本文件主要起草人:王大千、秦学礼、刘俊杰、陈思源、范国锋、王天羿、高正、陈建、余小彪、王芳、
吴志坚、童广才、吴建华、张正兵、谢敬伟、徐晓丽、丁之洁、魏佳鸣、耿文韬、廖志铭、张中玲、王华、黄韧、
顾小祥、刘鹏、韩辉、范阳辉、朱吉兴、王必统、洪道明、张玉华、彭永昌。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2010年首次发布为GB/T 25915.1-2010;
---本次为第一次修订。
引 言
GB/T 25915是采用ISO 14644系列国际标准,各部分设置与国际标准保持一致,拟由15个部分
构成。
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染程度。
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染,以避免可能产生的污染
风险。
---第3部分:检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测。
---第4部分:设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。
---第5部分:运行。目的是指导洁净室的运行。
---第6部分:词汇。目的是统一规范技术术语。
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)。目的是提出洁净室用隔离装置的基
本要求。
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级。目的是区分空气化学污染程度。
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测
要求。
---第13部分:达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以
避免可能产生的粒子和化学污染的风险。
---第14部分:按粒子污染浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子
污染的测试,确定设备的适合性。
---第15部分:按化学污染物浓度评定设备及材料的适合性。目的是通过对相关设备可能在洁净
室产生化学污染的测试,确定设备的适合性。
---第16部分:提高洁净室和空气净化装置能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。
本次修订对9个ISO 洁净度级别保留并做了细小修改。针对整数级别,表1定义了各种粒子粒径
的粒子浓度。针对中间级别,表E.1定义了各种粒子粒径的最大粒子浓度。针对不同级别,这些表格是
为了确保适当的粒径范围能得到更好地定义。本文件保留了大粒子描述符的概念。然而,纳米级粒子
(先前被定义为超微粒子)将会在一个单独标准里提出。
本文件明确提出空气洁净度等级用空气量中一定浓度的粒子数量来表示。本文件不仅明确了判定
洁净度等级的标准测试方法,还包括采样点的选择。
洁净室及相关受控环境 第1部分:
按粒子浓度划分空气洁净度等级
1 范围
本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T 25915.7所述的隔离装置中的空
气洁净度等级。
本文件适用于粒径挡下限为0.1μm~5μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。
超细粒子(< 0.1μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用
光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子( >5μm)的粒子浓度,用 M 描述符对其
量化。
本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
(ISO 14644-2:2015,IDT)
GB/T 25915.7 洁净室及相关受控环境 第7部分:隔离装置(净化......
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