标准搜索结果: 'GB/T 25915.2-2021'
| 标准编号 | GB/T 25915.2-2021 (GB/T25915.2-2021) | | 中文名称 | 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 国际标准分类 | 13.040.35 | | 字数估计 | 18,193 | | 发布日期 | 2021-08-20 | | 实施日期 | 2022-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 25915.2-2010 | | 起草单位 | 中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北检润和(北京)技术服务有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津大学、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、苏州华泰空气过滤器有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海市食品药品包装材 | | 归口单位 | 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319) | | 提出机构 | 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319) | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 25915.2-2021: 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 25915.2-2010
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
1 范围
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影
响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1μm~5μm粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1μm的粒子)浓度的监测,将
在另一个标准中规定。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
(ISO 14644-1:2015,MOD)
注:GB/T 25915.1-2021被引用的内容与ISO 14644-1:2015被引用的内容没有技术上的差异。
3 术语和定义
GB/T 25915.1-2021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
4 监测计划的制定、执行及持续改进
4.1 说明
为了确保洁净室或洁净区性能良好、粒子浓度达到控制要求并有良好的空气洁净度,应制定、执行
并持续改进监测计划。
监测计划应考虑所要求的空气洁净度水平、关键位置以及对洁净室和洁净区设施性能有影响的因
素。在制定、执行并持续改进监测计划时,应包括下列步骤:
---使用适当的风险评定方法来了解、评估、记录不良污染事件的风险;
---制定书面监测计划;
---审核并批准监测计划;
---进行监测以执行计划;
---对监测活动中获取的数据进行分析,需要时进行趋势分析并报告洁净室和洁净区的性能;
---实施并记录采取的措施或纠正措施;
---定期审核监测计划。
按监测计划测出的空气中粒子浓度,可能高于静态测试的浓度。受在场人员数量、风量、通风效果、
仪器或机器运行、相邻空间活动等因素的影响,测得的数值可能起伏较大。
对工艺本身就产生粒子、且这些粒子对工艺或产品不形成威胁的,可不监测动态的粒子浓度,而进
行定期静态分级测试或模拟运行情况的动态分级测试。其他影响性能和洁净度的参数仍可进行监测。
4.2 风险评估
风险评估是识别出危险并对接触危险的风险进行分析和评估的系统性过程。
风险评估应实现以下目标:
---确定可能影响洁净室或洁净区保持其空气洁净度能力的因素(该洁净度是按粒子浓度划分
的),从而制定出监测计划;
---确定可证明性能的监测要求。
风险评估考虑事项见附录A。
4.3 监测计划
4.3.1 监测计划应考虑风险评估的结果。
制定监测计划时,应至少包括4.3.2~4.3.13中所述的要素。
4.3.2 列出所有要监测的参数并证明其合理性,包括可能影响空气中粒子浓度的参数。
4.3.3 说明测量方法并证明其合理性,对制定监测计划需要考虑的事项见附录A。
4.3.4 监测仪器的准确度、维护、校准。
4.3.5 标识所选监测位置并说明合理性。监测位置应用三维坐标描述。
4.3.6 对监测合格的标准或限值的识别与其合理性,包括设定单个报警值,或设定预警值、干预值两个
报警值,但至少要设定干预值。设定预警值可给出性能偏离的早期预警。预警值、干预值的设置见附
录B。
4.3.7 数据超出规定限值的应对措施的技术要求。
4.3.8 按GB/T 25915.1-2021中5.1的规定定期划分洁净室或洁净区空气洁净度(按粒子浓度)的需
要与频度。
4.3.9 数据记录格式。
4.3.10 数据趋势分析或其他分析所用方法,包括统计方法。
4.3.11 对报告的要求。
4.3.12 对记录留存的规定和所用介质。
4.3.13 审核监测计划的频度。
注:对监测计划要定期审核,并依据从中获取的洁净室或洁净区的情况,修改监测计划。
4.4 校准
监测所用仪器应满足监测工作要求,应具备有效的校准证书,校准频度和方法应满足现行标准
要求。
粒子计数器的校准频度和方法如ISO 21501-4的规定。
注:粒子计数器无法全部按ISO 21501-4的要求进行校准时,在监测计划中记录将该计数器用于监测的决定。
4.5 审核与批准
监测计划应经审核与批准。
4.6 监测过程中出现偏差的应对措施
如监测结果超过规定限值,应进行调查以找出原因。需要时采取补救措施。
如补救措施对设施和(或)其运行有较大改动,应按GB/T 25915.1-2021进......
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