路径: 主页 > GB/T > 第397页 > GB/T 26028-2010 | 标准编号 | GB/T 26028-2010 (GB/T26028-2010) | | 中文名称 | 铝蒸发料 | | 英文名称 | Evaporated aluminum material | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.150.99 | | 字数估计 | 8,833 | | 发布日期 | 2011-01-10 | | 实施日期 | 2011-10-01 | | 引用标准 | GB/T 2828.1; GB/T 15077, | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第1号(总第166号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运翰、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。 | GB/T 26028-2010
Evaporated aluminum material
ICS 77.150.99
H68
中华人民共和国国家标准
铝 蒸 发 料
2011-01-10发布
2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。
铝 蒸 发 料
1 范围
本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货
单(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 要求
3.1 产品分类
铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-Al99.999和IC-Al99.9995两种。
铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种,如图1所示。
图1 铝蒸发料示意图
3.2 成分要求
铝蒸发料的化学成分要求见表1。
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