| 标准编号 | GB/T 26113-2010 (GB/T26113-2010) |
| 中文名称 | 微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 |
| 英文名称 | Micro-electromechanical system technology -- General rules for the assessment of micro-geometrical parameters |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.200 |
| 字数估计 | 12,199 |
| 发布日期 | 1/10/2011 |
| 实施日期 | 10/1/2011 |
| 引用标准 | GB/T 3505; GB/T 18779.2; GB/T 26111 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第1号(总第166号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。 |