路径: 主页 > GB/T > 第430页 > GB/T 31093-2014 | 标准编号 | GB/T 31093-2014 (GB/T31093-2014) | | 中文名称 | 蓝宝石晶锭应力测试方法 | | 英文名称 | Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H22 | | 国际标准分类 | 77.040.10 | | 字数估计 | 7,765 | | 发布日期 | 12/12/2014 | | 实施日期 | 9/1/2015 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第30号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 31093-2014
Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot
ICS 77.040.10
H22
中华人民共和国国家标准
蓝宝石晶锭应力测试方法
2014-12-22发布
2015-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能
阳光新能源技术有限公司。
本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰。
蓝宝石晶锭应力测试方法
1 范围
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。
本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝
宝石晶锭(以下简称晶锭)的应力测试可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法提要
蓝宝石为单轴晶体,c轴为光轴。使用典型的会聚平面偏振光干涉试验装置,晶体的光轴与切面垂
直,并且和仪器的光轴平行,在会聚光的情况下,会产生干涉,形成锥光图。锥光图由黑十字和同心圆状
的干涉色圈组成,干涉色圈以黑十字交点为中心(光轴出露点),成同心环状,干涉色圈的多少,取决于晶
体的双折射率的大小及厚度。
当晶体局部规则的结构被破坏,产生的应力使得该位置上的光轴方向发生改变,光束通过此位置
时,所得到的锥光图中的黑十字变形,因此可以通过观察晶体各个位置的锥光图来检测晶体的应力。
5 干扰因素
5.1 晶锭内部有气泡、包裹物等会影响应力的判断。
5.2 晶锭加工过程中引起的内部裂纹会影响应力的判断。
6 试验设备
应力仪,其典型光路如图1所示。仪器的光学系统由光源(1)发出的光速通......
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