路径: 主页 > GB/T > 第674页 > GB/T 31563-2015 | 标准编号 | GB/T 31563-2015 (GB/T31563-2015) | | 中文名称 | 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法 | | 英文名称 | Metallic coatings -- Measurement of coating thickness -- Scanning electron microscope method | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | A29 | | 国际标准分类 | 25.220.40 | | 字数估计 | 10,144 | | 发布日期 | 2015-05-15 | | 实施日期 | 2016-01-01 | | 引用标准 | GB/T 6462; GB/T 12334; GB/T 27788-2011 | | 采用标准 | ISO 9220-1988, MOD | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第15号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了通过扫描电子显微镜(SEM)检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式, 不确定度小于10%, 或者0.1 μm。该测量方法也可以用来测量几个毫米厚的涂层, 但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法(GB/T 6462)进行测量。 | GB/T 31563-2015
ICS 25.220.40
A29
中华人民共和国国家标准
金属覆盖层 厚度测量
扫描电镜法
(ISO 9220:1988,MOD)
2015-05-15发布
2016-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准修改采用ISO 9220:1988《金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法》。
本标准与ISO 9220:1988的主要技术差异如下:
---对照ISO 9220:1988(9.2.1.2),本标准采用照相成像输出。由于技术发展,本标准修改采用计
算机磁盘记录存储图像并标定。ISO 标准中涉及利用视频波形的信号目前设备已不采用,本
标准采用分辨率更高的EDS线扫描等技术。
---规范性引用文件替换为对应的我国标准,并增加了GB/T 27788-2011的引用。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC57)归口。
本标准起草单位:武汉材料保护研究所、清华大学、株洲钻石硬质合金厂、西安西电高压开关有限公
司、重庆市计量质量检测研究院、东莞市五株电子科技有限公司、深圳市发斯特精密技术有限公司。
本标准主要起草人:李健、邵天敏、段海涛、刘秀生、陈利、马博、凃杰松、王鼎、于翔、曾国权、孙联和。
金属覆盖层 厚度测量
扫描电镜法
1 范围
本标准规定了通过扫描电子显微镜(SEM)检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚
度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式,不确定度小于10%,或者0.1μm。该测量方法也可以用
来测量几个毫米厚的涂层,但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法(GB/T 6462)进行测量。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6462 金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法(GB/T 6462-2005,ISO 1463:2003,
IDT)
GB/T 12334 金属和其他非有机覆盖层 关于厚度测量的定义和一般规则(GB/T 12334-2001,
ISO 2064:1996,IDT)
GB/T 27788-2011 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则(ISO 16700:2004,IDT)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
局部厚度 localthickness
在涂层的一个指定区域内进行多次测量,取平均值所得的厚度值。
[GB/T 12334-2001,3.4]
4 原理
将试样沿垂直于涂层水平方向切割,并经过仔细打磨和抛光,制成金相试样,放入扫描电子显微镜
中进行检测。测量是通过常规的涂层截面显微图片,来获得涂......
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