路径: 主页 > GB/T > 第314页 > GB/T 3163-2024
| 标准编号 | GB/T 3163-2024 (GB/T3163-2024) | | 中文名称 | 真空技术 术语 | | 英文名称 | Vacuum technology - Vocabulary | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 90,987 | | 发布日期 | 2024-09-29 | | 实施日期 | 2024-09-29 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 3163-2007 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 3163-2024: 真空技术 术语
ICS 23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 3163-2007
真空技术 术语
2024-09-29发布
2024-09-29实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
3.1 基础术语 1
3.2 真空泵及相关术语 9
3.3 全压和分压真空计术语 19
3.4 真空系统及有关术语 27
3.5 检漏及有关术语 34
3.6 真空镀膜技术术语 37
3.7 真空冶金术语 43
4 符号 48
附录A(资料性) 本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014结构编号
对照情况 50
附录B(资料性) 本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014技术差异
及原因 59
附录C(资料性) 真空泵分类图谱 61
附录D(资料性) 全压真空计树形图谱 62
参考文献 63
索引 64
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 3163-2007《真空技术 术语》,与GB/T 3163-2007相比,除结构调整和编辑
性改动外,主要技术变化如下:
---更改了本文件的适用范围(见第1章,2007年版的第1章);
---增加了“超清洁真空”“体积速度”“气体温度”等70条术语(见第3章);
---更改了“真空区域”“压力”“未饱和蒸气”等28条术语(见第3章,2007年版的第2章、第3章、
第4章、第5章和第6章);
---删除了“标准环境条件”“标准气体状态”“帕斯卡”等21条术语(见2007年版的第2章、第3
章、第4章、第6章和第7章);
---删除了有关真空干燥和冷冻干燥的术语(见2007年版的第8章);
---删除了有关表面分析技术的术语(见2007年版的第9章);
---更改了“符号”(见第4章,2007年版的附录B);
---删除了附录“在采用国际单位制(SI制)之前使用的压力单位和换算系数”(见2007年版的附
录A)。
本文件修改采用ISO 3529-1:2019《真空技术 词汇 第1部分:基础术语》、ISO 3529-2:2020《真
空技术 词汇 第2部分:真空泵及相关术语》和ISO 3529-3:2014《真空技术 词汇 第3部分:全压
和分压真空计》。
本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014相比,在结构上有较多调整,两
个文件之间的结构编号变化对照一览表见附录A。
本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014相比,存在较多技术差异,在所
涉及的条款外侧页边空白位置用垂直单线(∣)进行了标示,这些技术差异及其原因一览表见附录B。
本文件做了下列编辑性改动:
---为与现有标准协调,将标准名称改为《真空技术 术语》;
---出于使用者易于查询术语来源的考虑,用GB/T 40344.1-2021全文替换ISO 21360-1:2012;
---增加了附录A(资料性)“本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014结
构编号对照情况”;
---增加了附录B(资料性)“本文件与ISO 3529-1:2019、ISO 3529-2:2020和ISO 3529-3:2014技
术差异及原因”;
---增加了索引,便于引用。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国机械工业联合会提出。
本文件由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本文件起草单位:东北大学、台州职业技术学院、浙江飞越机电有限公司、兰州空间技术物理研究
所、淄博真空设备厂有限公司、北京东方计量测试研究所、合肥工业大学、浙江博亚精密机械有限公司、
沈阳真空技术研究所有限公司、沈阳理工大学、暨南大学、安徽万瑞冷电科技有限公司、中科九微科技有
限公司、兰州真空设备有限公司、泊肃叶科技(沈阳)有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东欧
莱高新材料股份有限公司、台州瑞晶机电有限公司、中山火炬职业技术学院、南京真空泵厂有限公司、
北京通嘉宏瑞科技有限公司、北京航空材料研究院股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司。
本文件主要起草人:刘坤、李得天、巴德纯、张以忱、张宝夫、蒋友荣、黄国普、赵澜、张虎忠、徐法俭、
黄志婷、卢耀文、王旭迪、王晓冬、张世伟、陆学贵、吴晓云、宋青竹、迟小宇、谢元华、赵新颖、杜雪峰、刘彭义、
汪澎、周家屹、邓高飞、石晓强、马强、李成林、陈正伟、黄乐、邹凯、卢宽宽、郭文斌、王丽荣、胡世苓、
冯磊、杜广煜、巴要帅、陈树雷、魏民、郝明、王桂鹏、孟冬辉、张华霞、万旭杰、李松波、曹青、王欢、乔忠路、
王玲玲。
本文件于1982年首次发布,1993年第一次修订,2007年第二次修订,本次为第三次修订。
真空技术 术语
1 范围
本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系
统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和
书刊。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1 基础术语
3.1.1 一般术语
3.1.1.1
真空 vacuum
低于大气压力或大气分子密度的稀薄气体状态或基于该状态的环境。
3.1.1.2
真空区域 rangesofvacuum
根据一定压力范围对真空各区域进行的划分。
注1:压力范围在选定时会略有差异,广为认可的典型真空度范围见表1。
注2:地面气压取决于天气状况和海拔高度,气压范围从31kPa(珠穆朗玛峰的海拔高度和天气状况为气压低点)
到110kPa(死海的海拔高度和天气状况为气压高点)不等。
表1 典型真空区域
压力范围 定义 划分理由(典型情况)
≥1×102Pa~< 大气压
(31kPa......
|