路径: 主页 > GB/T > 第746页 > GB/T 31987-2026 | 标准编号 | GB/T 31987-2026 (GB/T31987-2026) | | 中文名称 | 电子气体 锗烷 | | 英文名称 | Electronic gas - Germane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 14,130 | | 发布日期 | 2026-04-30 | | 实施日期 | 2026-11-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 31987-2015 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 31987-2026: 电子气体 锗烷
GB/T 31987-2026 英文版: Electronic gas - Germane
ICS 71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 31987-2015
电子气体 锗烷
2026-04-30发布
2026-11-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 31987-2015《电子工业用气体 锗烷》,与GB/T 31987-2015相比,除结构调
整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 更改了范围(见第1章,2015年版的第1章);
b) 更改了锗烷应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章);
c) 更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.2);
d) 更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2);
e) 更改了氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法(见6.2,2015年版的4.4);
f) 更改了水分含量的测定方法(见6.3,2015年版的4.5);
g) 增加了金属元素含量的测定方法(见6.4);
h) 更改了检验规则(见第7章,2015年版的4.1);
i) 更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2015年版的5.1);
j) 更改了安全信息(见8.3,2015年版的5.2)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:昊华气体有限公司西南分公司、广东华特气体股份有限公司、宁夏宝廷新材料科
技股份有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、重庆同辉气体有限公司、中国计量测试学会、云南驰
宏国际锗业有限公司、大连华邦化学有限公司、太和气体(荆州)有限公司、河北盛泰芯材科技股份有限
公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、浙江省化工研究院有限
公司、贵州省产品质量检验检测院、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、大特(成都)气体有限公司、液化空气(中国)
投资有限公司、科哲(上海)阀门有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特
新材料有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、杭州云必技术有限公司、中国计量科学研究院、
杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、北京睿信
捷环保科技有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处、
天策标准化服务(天津)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、福建优力特材料科技有限公司、三峡大
学、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司、西南化工研究设计院有限公司。
本文件主要起草人:马昌宁、杨俊豪、陈扬天、茹高艺、杨扬仲夫、王瑜、李洪佳、王晓文、阳辉、吴文静、
黄加斗、刘辉、钟卉菲、陈琛、赖晓峰、张帆利、廖吉伟、刘英杰、周桂明、史兰、侯鹏、钱吉、袁有录、方华、
娄珈元、黄辉、邓海平、殷昊、朱安民、王阳、陈爽、葛修杰、谈益强、尹乐乐、高静、李安林、赵鑫蕊、王漫、
贾任远、任超、宫兵、王大为、梁永强、赵洁、魏王慧、董翊、任希辉、董志仪、何波、唐中伟、袁其龙、周鹏云、
唐霞梅、高文龙、陈学航。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2015年首次发布为GB/T 31987-2015;
---本次为第一次修订。
电子气体 锗烷
1 范围
本文件规定了锗烷的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了
相应的试验方法。
本文件适用于以氧化锗或氯化锗或锗镁合金为原料制备的锗烷。
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
锗烷的技术要求应符合表1的规定。
5 采样
锗烷的采样应符合GB/T 43306的规定。
6 试验方法
6.1 锗烷纯度
6.1.1 杂质总含量
杂质总含量按公式(1)计算:
6.1.2 纯度
锗烷纯度按公式(2)计算:
6.2 氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定
6.2.1 测定方法
按GB/T 28726规定的方法测定锗烷中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。可采用其
他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T 28726规定的方法为仲裁方法。
6.2.2 预分离柱
6.2.2.1 预分离柱Ⅰ:长0.6m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的碳分子
筛,或其他等效色谱柱。
6.2.2.2 预分离柱Ⅱ:长3m、内径2mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的高分子聚合
物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。
6.2.3 色谱柱
6.2.3.1 色谱柱Ⅰ:长1.5m、内径3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子
筛,或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。
6.2.3.2 色谱柱Ⅱ:长3m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的高分子聚合物
(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。
6.2.4 标准样品
标准样品中氢含量宜与被测样品中氢含量相近,其余组分含量(摩尔分数)宜为1×10-6~5×
10-6,平衡气为高纯氦,应符合GB/T 4844的规定。
6.2.5 参考的气路流程图
参考的气路流程示意图见附录A。
6.3 水分含量的测定
按GB/T 5832.1或GB/T 5832.2或其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,以GB/T 5832.2
规定的方法为仲裁方法。
6.4 金属元素含量的测定
按GB/T 34972的规定执行。
6.5 尾气处理
测定时,应有尾气处理措施,防止锗烷对环境的污染。
7 检验规则
锗烷产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合技术要求的规定时,判该产品合格。当检验结果
有任何一项指标不符合技术要求的规定时,则判该产品不合格。
8 标志、包装、运输、贮存及安全信息
8.1 标志
8.1.1 锗烷出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括:
---产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号;
---生产日期或批号,以及保质期;
---充装质量(kg);
---本文件编号及锗烷的纯度。
8.1.2 包装容器上宜涂刷“电子气体 锗烷”字样。
8.1.3 锗烷的包装标志应符合 GB 190的规定,颜色标志应符合 GB/T 7144的规定,标签应符合
GB 15258、GB/T 16804的规定。
8.2 包装、运输及贮存
8.2.1 包装锗烷的气瓶应符合GB/T 5099(所有部分)或GB/T 11640或GB/T 33145的规定。
8.2.2 锗烷的充装及贮运应符合GB/T 14193.1、TSG23的规定,充装及贮运的安全管理条例见《危险
化学品安全管理条例》......
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