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| 标准编号 | GB/T 33523.700-2025 (GB/T33523.700-2025) | | 中文名称 | 产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第700部分:区域形貌测量仪器的校准、调整和验证 | | 英文名称 | Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J04 | | 国际标准分类 | 17.040.20; 17.040.40 | | 字数估计 | 27,220 | | 发布日期 | 2025-05-30 | | 实施日期 | 2025-09-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 33523.700-2025: 产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第700部分:区域形貌测量仪器的校准、调整和验证
ICS 17.040.20;17.040.40
CCSJ04
中华人民共和国国家标准
产品几何技术规范(GPS) 表面结构:
区域法 第700部分:区域形貌测量仪器的
校准、调整和验证
measuringinstruments
2025-05-30发布
2025-09-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是 GB/T 33523《产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法》的第 700 部分。
GB/T 33523已经发布了以下部分:
---第1部分:表面结构的表示法;
---第2部分:术语、定义及表面结构参数;
---第3部分:规范操作集;
---第6部分:表面结构测量方法的分类;
---第70部分:实物测量标准;
---第71部分:软件测量标准;
---第72部分:XML文件格式x3p;
---第73部分:实物标准表面缺陷的术语和定义;
---第600部分:区域形貌测量方法的计量特性;
---第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性;
---第602部分:非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性;
---第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性;
---第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性;
---第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性;
---第606部分:非接触(变焦)式仪器的标称特性;
---第700部分:区域形貌测量仪器的校准、调整和验证;
---第701部分:接触(触针)式仪器的校准与测量标准。
本文件等同采用ISO 25178-700:2022《产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第700部
分:区域形貌测量仪器的校准、调整和验证》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC240)提出并归口。
本文件起草单位:哈尔滨工业大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机研标准技术研究院(北京)
有限公司、中国计量科学研究院、中国科学院上海光学精密机械研究所、天津大学、青岛城市学院、郑州
大学、先临三维科技股份有限公司、黑龙江省计量检定测试研究院、浙江大学、中机生产力促进中心有限
公司。
本文件主要起草人:刘俭、张和君、刘辰光、朱悦、施玉书、苏榕、郭彤、张慧杰、赵凤霞、由小玉、李仁举、
周彤、张宗政、翁兆楠。
引 言
随着国家产品质量提升计划的实施,对产品设计、制造、度量和检验过程中使用的统一规范或原则
的需求越来越迫切。原有产品几何技术规范中表面结构的表示方法及相关标准已不能满足产品制造过
程中的表面质量控制要求。
GB/T 33523《产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法》基于新一代 GPS产品几何规范体
系,通过数字化测量技术、软件分析技术及计量评定等手段,构建一套全新的三维表面结构测量与分析
的推荐性国家标准。GB/T 33523在提出表面结构表示法、表面结构参数及规范操作集的基础上,分析
了表面结构测量的方法,给出了使用的测量技术及仪器的标称特性。特别是,GB/T 33523在涵盖接触
式测量仪器的同时,重点引入了在高精度测量应用中具有重要价值但缺乏标准支撑的多种非接触式测
量仪器。GB/T 33523还规范了实物测量和软件测量标准,给出了软件文件标准和表面结构测量的计
量特性。GB/T 33523实现了从二维轮廓测量到三维表面结构测量的跨越,为GPS产品几何规范体系
提供了计量测试支撑。
GB/T 33523拟由17个部分构成。
---第1部分:表面结构的表示法。旨在规定产品技术文件(例如图纸、规范、合同和报告)中利用
图形符号表示区域表面结构的规则。
---第2部分:术语、定义及表面结构参数。旨在规定用区域法评定表面结构的术语、定义和参数。
---第3部分:规范操作集。旨在规定适用于区域法评定表面结构(尺度限定表面)的完整规范操
作集。
---第6部分:表面结构测量方法的分类。旨在规定主要用于表面结构测量方法的分类体系,定义
三类方法,描述三类方法之间的关系,并对具体方法做了简要说明。
---第70部分:实物测量标准。旨在规定用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测
量标准的特性。
---第71部分:软件测量标准。旨在规定用于测量仪器软件校验的S1型和S2型软件测量标准
(标准具)的术语定义。
---第72部分:XML文件格式x3p。旨在规定用于存储和交换形貌及轮廓数据的XML文件格
式x3p。
---第73部分:实物标准表面缺陷的术语和定义。旨在界定ISO 5436-1和ISO 25178.70中规定
的实物量具及校准样块表面上可呈现出的几何缺陷类别的定义,定义对这些缺陷处理方法的
术语。
---第600部分:区域形貌测量方法的计量特性。旨在规定用于表面形貌测量的区域法测量仪器
的计量特性。
---第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性。旨在规定表面结构区域法接触(触针)式仪器的
标称特性。
---第602部分:非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性。旨在规定使用基于白光轴向色散
特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。
---第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性。旨在规定相移干涉法(PSI)轮廓和区
域表面结构测量显微镜的计量特性。
---第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性。旨在规定用于表面高度三维映射的
相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
---第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性。旨在规定使用点自动对焦探针测
量表面结构的非接触式仪器的计量特性。
---第606部分:非接触(变焦)式仪器的标称特性。旨在规定使用变焦(FV)传感器测量表面结构
的非接触式仪器的设计与计量特性。
---第700部分:区域形貌测量仪器的校准、调整和验证。旨在规定用于校准、调整和验证
ISO 25178-600中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的通用程序。
---第701部分:接触(触针)式仪器的校准与测量标准。旨在规定区域法表面结构接触(触针)式
仪器用作测量标准的实物量具的特性,残余误差的评定方法,校准、验收和周期检定的检测
方法。
产品几何技术规范(GPS) 表面结构:
区域法 第700部分:区域形貌测量仪器的
校准、调整和验证
1 范围
本文件规定了用于校准、调整和验证ISO 25178-600中所述的区域形貌测量仪器共性计量特性的
通用程序。由于表面轮廓可以从表面形貌图像中提取,因此本文件描述的大多数方法可以适用于轮廓
法测量仪器。
本文件不涉及仪器特定的问题。例如,对于探头按照弧形运动的机械式探测仪器,ISO 25178-701
中规定了额外的测量标准。
本文件不涉及ISO 25178-6中规定的区域整体法(例如用于表面形貌测量的光散射法)的程序。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 33523.73-2025 产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第73部分:实物标准表面
缺陷的术语和定义(ISO 25178-73:2019,IDT)
GB/T 33523.600-2025 产品几何技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第600部分:区域形貌测
量方法的计量特性(ISO 25178-600:2019,IDT)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
非测点 non-measuredpoints
不存在有效测量值的表面位置。
注1:非测点的处理见6.3。
注2:非测点可能是由测量仪器的特征或测量标准上超出了仪器测量范围的表面缺陷引起的。
3.2
虚假数据 spuriousdata
根据测量......
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