路径: 主页 > GB/T > 第578页 > GB/T 36370-2018 | 标准编号 | GB/T 36370-2018 (GB/T36370-2018) | | 中文名称 | 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南 | | 英文名称 | Cleanroom and associated controlled environments -- Guidelines of application of air filters | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 国际标准分类 | 13.040.35 | | 字数估计 | 46,424 | | 发布日期 | 2018-06-07 | | 实施日期 | 2018-10-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36370-2018: 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南
GB/T 36370-2018 英文名称: Cleanroom and associated controlled environments -- Guidelines of application of air filters
1 范围
本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。
本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法
GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇(ISO 14644-6:2007,IDT)
ISO 29463-1:2011 高效率空气过滤器和滤材 第1部分:分级、性能试验、标识
ISO 29463-2:2011 高效率空气过滤器和滤材 第2部分:气溶胶发生、测量装置、粒子计数统计
学方法
3 术语和定义
GB/T 25915.6-2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
空气过滤器
用于清除气流中悬浮颗粒物和某些气相污染物的过滤器。
3.2
效率
试验条件下,过滤器或过滤材料捕集粒子的计数率与上游粒子计数率的比值,或滤除质量浓度与上
游质量浓度的比值,以%表示。
3.3
穿透率
试验条件下,过滤器下游粒子浓度与上游浓度的比值,以%表示。
3.4
最易穿透粒径
对给定过滤器穿透率最高(过滤效率最低)的粒子粒径。
注:即最难过滤粒子的粒径。理论上讲,大于或小于 MPPS粒子的过滤效率都高于 MPPS处的效率;实际应用中,过滤器的 MPPS是仪器测量的一个粒径范围,而不是某个唯一粒径。
3.5
MPPS效率
试验条件下,过滤器效率曲线的最低点,即对应 MPPS处的效率值。
3.6
亚高效过滤器
试验风量下 MPPS效率低于99.95%但不低于85%的过滤器。
3.7
高效过滤器
HEPA过滤器
ISO 35H级~ISO 45H级,试验风量下 MPPS效率低于99.999%但不低于99.95%的过滤器。
3.8
超高效过滤器
ULPA过滤器
ISO 50U级和更高级别过滤器,试验风量下 MPPS效率不低于99.999%的过滤器。
3.9
钠焰法
检测过滤效率的一种方法。在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的氯化钠气溶胶、利
用火焰光度计测量过滤器上下游含钠气溶胶火焰特征强度,以确定过滤效率。
注:又称“火焰光度计法”。
3.10
浊度计法
在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的液态或固态气溶胶、利用光散射原理光度计测
量过滤器上下游气溶胶质量浓度,以确定过滤效率的一种方法。
注:又称“光度计法”。常用浊度计法有:传统的DOP法、油雾法等。
3.11
净化单元
将HEPA或ULPA过滤器、静压箱、风机、风速调整装置集成在一起的过滤装置。
注:又称“风机过滤单元”。
3.12
预过滤器 prefilter
为保护下一级过滤器并延长其使用寿命而设置的过滤器。
注:又称“前置过滤器”。
3.13
释气
过滤器制造材料可能释放的气态化合物。
3.14
末端过滤器
送风系统的最后一级空气过滤器。
3.15
吸附容量
在气相空气净化设备中的过滤介质所能容纳的指定吸附质的数量(质量或摩尔数)。
注:在解吸过程中称解吸容量。
3.16
去除效率
空气化学过滤器在规定的试验时间内,去除气相污染物的百分数(%)或其浓度分数。
3.17
压力降
空气化学过滤器前后两端的压力差。
3.18
保持能力
衡量吸附剂或化学过滤器抗解吸能力的参数,用剩余容量(残留分数)来表达。
3.19
聚四氟乙烯拉延膜滤材
由聚四氟乙烯薄膜和其他辅助材料复合形成的滤材。其中,起过滤作用的材料为聚四氟乙烯拉延
形成的纤维状多孔薄膜。
注:制作高效过滤器的聚四氟乙烯薄膜厚度约10μm~20μm,纤维直径仅有数十纳米,因此有时称“膜过滤”材料或“纳米过滤”材料。
3.20
驻极体滤材
能够长期贮存电荷的高分子过滤材料。
4 效率分级
空气过滤器效率分级参见附录A。对于高效率空气过滤器的过滤性能,本标准采用ISO 29463-1:
2011规定的等级,参见A.1。
5 普通过滤器
5.1 概述
5.1.1 普通过滤器分为粗效、中效、高中效、亚高效、高效和超高效。在净化空调系统中粗效、中效、高中效作为预过滤器,保护其后的各种部件的功能和保护高效过滤器和超高效过滤器。
5.1.2 高效和超高效过滤器的功能和作用是保证生产工艺对环境所要求的洁净度等级,要将其设置在
系统的末端。
5.2 末端高效率过滤器
5.2.1 过滤效率
通常,ISO 6级以及更低级别的非单向流洁净室,末端过滤器的过滤效率不低于ISO 35H级(对最
易穿透粒径粒子的过滤效率不低于99.95%)。若用户与供货商协商同意,也可以使用钠焰法、气溶胶浊度计法或其他方法,其最低效率不低于99.97%或其他约定值。
ISO 5级洁净室的末端过滤器的过滤效率不低于ISO 40H级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不
低于99.99%)。若用户与供货商协商同意,也可以使用对0.3μm粒子效率不低于99.99%的过滤器。
ISO 4级以及更高级别洁净室,末端过滤器一般采用ULPA过滤器,其过滤效率不低于ISO 50U
级(MPPS处过滤效率不低于99.999%)。
5.2.2 出厂检测
效率规格不低于ISO 35H级的高效率过滤器,出厂前应经过逐台检测。
效率或穿透率的出厂检测方法由顾客与供货商协商确定。附录B给出可能的检测方法。若无特
别约定,应采用ISO 29463-2:2011规定的粒子计数法。
注:顾客与供货商宜约定具体试验方法,是采用扫描法,还是采用总效率法,并约定试验中所用粒子测量装置、试验气溶胶、试验规程和验收限值。
5.2.3 安装后的检测
5.2.3.1 检测中要验证设施不存在旁路渗漏,过滤器无缺陷(滤材和密封点的小孔和损伤),无渗漏(过
滤器边框和密封垫的旁路渗漏,过滤器安装架的渗漏),参见附录C。这项检测一般不判定系统的过滤
效率。通常,在过滤器上游发生足够浓度的气溶胶(参见附录D)。在过滤器下游及过滤器周边扫描,或
在过滤器下游的风道中采样。
注:此项检测旨在确认高效过滤系统安装正确。
5.2.3.2 安装后过滤器,通常采用GB/T 25915.3-2010中B.6.2和B.6.3中的如下两种方法检测:
a) 就位过滤系统气溶胶浊度计扫描检漏;
b) 就位过滤系统粒子计数器扫描检漏。
5.2.3.3 风道内和空气处理系统内高效率过滤器的检漏,可参照GB/T 25915.3-2010中B.6.4中的方
法、规程和验收限值,采用粒子计数器或气溶胶浊度计进行检测。
注:过滤器制造厂内的效率检测是在理想试验条件下进行的。现场条件与试验条件与制造厂条件的差别,可能造成现场检验与实验室检验的结果不一致。安装后的现场检测之前,建议顾客、供货商和检测方对现场检测方法及验收限值进行约定。
5.2.4 远离洁净室的末端过滤器
有些场合,由于场地等因素限制,洁净室末端过滤器设在空调系统内,而不是洁净室的送风口。这
种设计可以节省投资,但存在一些弊端。除非必须,洁净室一般不采用这种设计。
5.2.5 末端高效过滤器的使用寿命
末端高效过滤器的使用寿命的长短主要取决于通风系统过滤段的设计。系统中预过滤器效率的高
低决定着末端过滤器的使用寿命。
5.2.6 其他
5.2.6.1 末端过滤器上的有机物和水分易微生物繁衍。为减少微生物繁衍,末端高效过滤器的材料不
应使用亲水材料,不宜使用易于滋生微生物的材料。......
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