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| 标准编号 | GB/T 37416-2019 (GB/T37416-2019) | | 中文名称 | 洁净机器人通用技术条件 | | 英文名称 | General specifications of clean-room robot | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J28 | | 国际标准分类 | 25.040.40 | | 字数估计 | 14,115 | | 发布日期 | 2019-05-10 | | 实施日期 | 2019-12-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 37416-2019: 洁净机器人通用技术条件
GB/T 37416-2019 英文名称: General specifications of clean-room robot
1 范围
本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。
本标准适用于在洁净室使用的,在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 191 包装储运图示标志
GB/T 4768 防霉包装
GB/T 4857.23 包装 运输包装件基本试验 第23部分:随机振动试验方法
GB/T 4879 防锈包装
GB/T 5048 防潮包装
GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1部分:通用技术条件
GB/T 7932-2017 气动 对系统及其元件的一般规则和安全要求
GB/T 9969 工业产品使用说明书 总则
GB 11291.1-2011 工业环境用机器人 安全要求 第1部分:机器人
GB/T 12642-2013 工业机器人 性能规范及其试验方法
GB/T 13306 标牌
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择
JB/T 8896-1999 工业机器人 验收规则
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
工业机器人
自动控制的、可重复编程、多用途的操作机,可对三个或三个以上轴进行编程。在工业自动化中
使用。
注1:工业机器人包括:
---操作机,含制动器;
---控制器,含示教盒和某些通信接口(硬件和软件)。
注2:这包括某些集成的附加轴。
注3:它可以是固定式或移动式。
注4:改写GB/T 12643-2013,定义2.9。
3.2
洁净室
空气悬浮粒子浓度受控的房间。
注1:它的建造和使用能减少室内渗入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力也会受控。
3.3
真空
用于描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。
3.4
洁净机器人
在洁净室(3.2)使用的,在电子器件制造、医药制造、食品制造等行业执行搬运等任务的工业机器人(3.1)。
注:可适用于大气和真空环境。
3.5
大气机器人
机器人整体或部分在大气环境下使用的洁净机器人(3.4)。
3.6
真空机器人
机器人整体或部分在真空(3.3)环境下使用的洁净机器人(3.4)。
3.7
洁净度
以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
3.8
漏率
在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。
4 产品分类
按使用环境分为:
a) 大气机器人;
b) 真空机器人。
5 性能
洁净机器人(以下简称机器人)的性能指标参数,应在产品标准中规定,包括下列各项:
a) 各轴运动范围;
b) 最大单轴速度;
c) 位姿准确度和重复性;
d) 位置稳定时间;
e) 轨迹准确度和重复性;
f) 轨迹速度;
g) 静态柔顺性;
h) 洁净度;
i) 漏率。
6 技术要求
6.1 一般要求
机器人应满足以下一般要求:
a) 机器人的洁净设计应满足产品洁净度要求;
b) 机器人应按规定程序批准的设计图样和工艺文件进行制造;
c) 机器人部件质量应可靠,并符合相关标准。
6.2 外观和结构
机器人外观和结构应满足以下要求:
a) 机器人表面色泽应均匀一致,无划痕等缺陷;表面各部分应光滑,无毛刺、尖角、起泡;
b) 金属部件不应有锈蚀及其他机械损伤;
c) 文字、符合和标志应清晰、端正,各关节轴处应标明轴号及运动方向;
d) 机器人结构应布局合理,操作方便,便于维护;
e) 机器人部件质量应可靠,并符合相关标准。
6.3 功能
机器人功能应满足以下要求:
a) 机器人的开关、按钮、显示、报警及联锁装置功能应正常;
b) 使用操作机操作机器人各轴运动应平稳、正常;
c) 机器人各种运行模式中,指令与动作应协调一致;
d) 机器人碰撞保护功能应正常。
6.4 气动系统
用气动驱动的机器人夹持器,其气动系统应符合GB/T 7932-2017的规定。
6.5 电气系统
机器人电气系统应符合GB 5226.1-2008的规定。
6.6 安全
6.6.1 基本要求
机器人的安全应符合GB 11291.1-2011的规定。针对洁净应用特点,且应满足以下工作要求:
a) 机器人在应用过程中不应损坏应用产品;
b) 机器人在搬运过程中物料(硅片、玻璃基板等)不应发生掉落、滑动;
c) 机器人产生的空气悬浮粒子浓度应受控,不应破坏应用环境;
d) 机器人在发生碰撞时应能够及时停机。
6.6.2 接地
接地应符合以下要求:
a) 机器人应有明显的接地标志;
b) 机器人接地点与带电的金属部件之间的接地电阻应不大于0.1Ω。
6.6.3 绝缘电阻
机器人控制装置,动力交流电源电路与壳体之间的绝缘应不小于10MΩ。
6.6.4 耐压强度
机器人动力交流电源电路与邻近的非带电导体间,应能承受交流(50Hz)电压有效值1500V持续
1min的耐电强度试验,无击穿、闪络及飞弧现象。
6.7 噪声
机器人在额定负载和额定速度运行时所产生的噪声,应不大于80dB(A)。
6.8 电源适应能力
在电源额定电压380V或者220V,额定频率50Hz±0.2Hz,电压波动范围-15%~+10%的条
件下应能正常工作。
6.9 环境适应性
6.9.1 气候环境适应性
机器人在表1规定的工作、贮存条件下应能正常工作。特殊环境机器人,其环境条件由产品标准
规定。
6.9.2 机械环境适应性
机器人带包装模拟运输试验后,结构及零部件应无损伤,无弯曲变形,紧固件应无松动,机器人能正
常运行。
7 试验方法
7.1 试验条件
7.1.1 在以下环境条件下进行试验:
a) 温度5℃~40℃。
b) 湿度:当最高温度为40℃,相对湿度不超过50%时,电气设备应能正常工作。温度低则允许
高的相对湿度(如20℃时为90%)。要求采取正确的电气设备设计来防止偶然性凝露的有害
影响,必要时采用适当的附加设施(如内装加热器、空调器、排水孔)。
c) 大气压力:86kPa~106kPa。
7.1.2 试验过程温度变化不超过±2℃,机器人和测量仪器放在试验环境内不小于8h,确保它们处于
热稳定条件下。同时,还应防止受热气流和外部热辐射的影响。试验环境应保证试验结果不受电磁和振动的干扰。
7.1.3 试验之前需要对机器人进行各种功能的试操作,并使机器人连续运行不少于1h。
7.1.4 位姿特性及轨迹特性的测试应在带载的情况下进行,测试过程中试验载荷的重心应与机器人的机械接口重心或工具中心点的测试点位置重合。
7.2 外观和结构检查
按JB/T 8896-1999中5.2的规定进行。
7.3 功能检查
按JB/T 8896-1999中5.3的规定进行。
7.4 气动系统检查
按GB/T 7932-2017中第6章的规定进行。
7.5 性能
7.5.1 各轴运动范围
按JB/T 8896-1999中5.4.1的规定进行。
7.5.2 最大单轴速度
在额定负载条件下,使被测关节进行稳定工作状态,其他关节固定。令被测关节以最大速度做最大
范围的运动,测出速度的最大值。重复测量10次,取平均值作为测量结果。
7.5.3 位姿准确度及重复性
按GB/T 12642-2013中7.2的规定进行。
7.5.4 位置稳定时间
按GB/T 12642-2013中7.4的规定进行。
7.5.5 轨迹准确度及重复性
按GB/T 12642-2013中8.2、8.3的规定进行。
7.5.6 轨迹速度
按GB/T 12642-2013中8.6.4的规定进行。
7.5.7 静态柔顺性
按GB/T 12642-2013中第10章的规定进行。
7.5.8 洁净度
机器人放置在洁净环境(优于洁净度指标)内,在额定负载条件下使机器人执行典型作业,测试机器
人工作空间内均匀分布的5点的洁净度。依据GB/T 25915.1-2010中4.2方法检测,取最大值。
7.5.9 漏率
按GB/T 32293-2015中......
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