标准搜索结果: 'GB/T 43661-2024'
| 标准编号 | GB/T 43661-2024 (GB/T43661-2024) | | 中文名称 | 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 18,166 | | 发布日期 | 2024-03-15 | | 实施日期 | 2024-10-01 | | 归口单位 | 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) | | 提出机构 | 全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38) | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 43661-2024: 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准
ICS 71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 扫描探针显微术
用于二维掺杂物成像等用途的
电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和
SCM)空间分辨的定义和校准
(ISO 13083:2015,IDT)
2024-03-15发布
2024-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 基本信息 2
6 锐边法测量SCM横向分辨 4
7 锐边法测量SSRM空间分辨 7
附录A(资料性) SCM分辨测量示例 9
附录B(资料性) SSRM分辨测量示例 11
参考文献 13
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 13083:2015《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途
的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:中山大学、广东工业大学、暨南大学。
本文件主要起草人:龚力、杨慕紫、陈瑜、张浩、谢伟广、谢方艳、丁喜冬、陈建。
表面化学分析 扫描探针显微术
用于二维掺杂物成像等用途的
电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和
SCM)空间分辨的定义和校准
1 范围
边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
Vocabulary-Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy)
注:GB/T 22461.2-2023 表面化学分析 词汇 第2部分:扫描探针显微术术语(ISO 18115-2:2021,MOD)
3 术语和定义
ISO 18115-2界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
采用导电探针测量材料电学特性(例如电容、电阻、电场等)的扫描探针显微术。
3.2
接触模式 contactmode
通过调整探针和样品的相对高度,使探针尖端在样品表面进行扫描的模式,探针和样品之间始终存
在排斥力。
注:此模式分为恒......
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