路径: 主页 > GB/T > 第673页 > GB/T 44538-2024 | 标准编号 | GB/T 44538-2024 (GB/T44538-2024) | | 中文名称 | 碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能 | | 英文名称 | Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | A29 | | 国际标准分类 | 25.220.99 | | 字数估计 | 10,162 | | 发布日期 | 2024-09-29 | | 实施日期 | 2025-05-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 44538-2024
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
碳基薄膜 椭偏光谱法测定
非晶态碳基薄膜的光学性能
Carbon based films-Determination of optical properties of amorphous carbon
films by spectfoscopic ellipsometry
（ISO 23216：2021,MOD）
ICS 25.220.99
CCS A 29
中华人民共和国国家标准
2024-09-29发布
2025-04-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发 布
目次
前言 ··· Ⅲ
1 范围 ···· 1
2 规范性引用文件 ···· 1
3 术语和定义 ···· 1
4 试样制备 ··· 1
5 设备 ···· 1
5.1 卤素灯和蓝光 LED灯 ···· 1
5.2 探测器 ···· 1
5.3 与光电倍增管（PMT）/电荷耦合器件（CCD）/光电二极管阵列（PDA）连接的光谱仪 ···· 2
5.4 软件 ··· 2
5.5 置物台 ···· 2
5.6 测角仪 ···· 2
5.7 摄像机 ···· 2
6 试验步骤 ··· 2
6.1 样品预处理 ···· 2
6.2 试验准备 ···· 2
6.3 试验条件 ···· 2
6.4 光学模型 ···· 2
6.5 测试过程 ···· 3
6.6 平行试验 ···· 3
7 试验结果分类 ···· 3
8 试验报告 ··· 3
附录 A （规范性） 非晶碳基薄膜的光学性质分类方法 ···· 4
前言
本文件按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第 1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
本文件修改采用 ISO 23216：2021《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》。
本文件与 ISO 23216：2021相比做了下述结构调整：
6.4和6.5对应ISO 23216：2021中的6.4；-
6.6对应ISO 23216：2021中的6.5。-
本文件做了下列编辑性改动：
增加了图1光学模型各层所对应类型的标注；-
增加了标题条（见5.1～5.7）。-
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国机械工业联合会提出。
本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会（SAC/TC 57）归口。
本文件起草单位：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯
源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有
限公司。
本文件主要起草人：段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、
王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺。
碳基薄膜 椭偏光谱法测定
非晶态碳基薄膜的光学性能
1 范围
本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性（折射率 n和消光系数 k）以及通过 n﹘k图
谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非
晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳
基薄膜。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
折射率 refractive index
电磁辐射在真空中的传播速度与在介质中的传播速度之比。
3.2
消光系数 extinction coefficient
介质（物质）对电磁辐射的吸收量。
4 试样制备
各基底上的非晶碳基薄膜均可用于试验，只要基底是光学各向同性的，并具有可用光学模型。推荐
的试验基底是镜面的硅晶片。镜面的硅晶片能作为非晶基......
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