路径: 主页 > GB/T > 第742页 > GB/T 47185-2026 | 标准编号 | GB/T 47185-2026 (GB/T47185-2026) | | 中文名称 | 微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序 | | 英文名称 | Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Calibration procedure of energy scale for elemental analysis by electron energy loss spectroscopy | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 71.040.50 | | 字数估计 | 18,189 | | 发布日期 | 2026-02-27 | | 实施日期 | 2026-09-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 47185-2026: 微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的能量标尺校准程序
ICS 71.040.50
CCSN33
中华人民共和国国家标准
微束分析 分析电子显微术
用于电子能量损失谱元素分析的
能量标尺校准程序
(ISO 24639:2022,MOD)
2026-02-27发布
2026-09-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 3
5 能量值的确定及其校准方法 3
5.1 设备 3
5.2 参考物质 4
5.3 能量步长和能量标尺的校准程序 5
6 校准报告 10
附录A(资料性) 磁棱镜漂移管电压的校准 11
附录B(资料性) 能量步长线性度的评估 12
参考文献 13
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件修改采用ISO 24639:2022《微束分析 分析电子显微术 用于电子能量损失谱元素分析的
能量标尺校准程序》。
本文件与ISO 24639:2022相比做了下述结构调整:
---将ISO 24639:2022图7后的注,移至正文(见5.3.4.1);
---将ISO 24639:2022的5.2.5“参考物质”改为5.2,原5.2改为5.3后续章节号相应调整(见第5
章)。
本文件与ISO 24639:2022的技术差异及其原因如下:
---更改了本文件的适用范围(见第1章),以方便操作;
---用规范性引用的GB/T 40300替换了ISO 15932(见第3章),以适应给我国的技术条件,增加
可操作性;
---增加了电子能量损失谱采集时进行相对厚度检查的推荐值(见5.3.1),增强可操作性。
本文件做了下列编辑性改动:
---增加了术语和定义中“内置型能损谱仪”的注(见3.11);
---删除了部分未使用或仅单次使用的缩略语;
---增加了缩略语“CMOS”(见第4章);
---增加了缩略语“EELS”的义项“电子能量损失谱”(见第4章);
---在各公式后增加了对式中符号的说明[见式(1)、式(2)、式(3)、式(4)];
---在各图后补全了标引序号说明(见图4、图5、图6、图7)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:北京化工大学、中国科学院化学研究所、南昌大学、中国科学院金属研究所。
本文件主要起草人:洪崧、王岩华、汤斌兵、贺连龙。
引 言
电子能量损失谱法(EELS)可用于高空间分辨率的元素分析。在透射电子显微镜(TEM)或扫描透
射电子显微镜(STEM)中,入射电子穿透电子透明的试样,例如减薄试样,被样品中的原子散射;谱仪分
析非弹性散射电子以识别样品中的元素。通过将芯损失边的谱峰能量和形状与手册中各元素的谱峰能
量表和谱图作比较,可以识别由氢至铀的所有元素。在0eV~3000eV 的能量范围内,按照本文件校
准谱仪,使芯损失边能量测量的相对不确定度优于3%,即可以准确识别各元素芯损失边,满足元素分
析的要求。
微束分析 分析电子显微术
用于电子能量损失谱元素分析的
能量标尺校准程序
1 范围
本文件描述了在透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜中电子能量损失谱的能量步长和能量标尺
的校准程序。
本文件适用于进行元素分析之前的电子能量损失谱的校准,校准能量范围在0eV~3000eV。
本文件适用于分析薄试样透射电子的电子能量损失谱,不适用于分析块体试样背散射电子的电子
能量损失谱。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 40300 微束分析 分析电子显微学 术语(GB/T 40300-2021,ISO 15932-2013,MOD)
3 术语和定义
GB/T 40300界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
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