路径: 主页 > GB/T > 第379页 > GB/T 5226.33-2017 | 标准编号 | GB/T 5226.33-2017 (GB/T5226.33-2017) | | 中文名称 | 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件 | | 英文名称 | Electrical safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J09 | | 国际标准分类 | 29.020 | | 字数估计 | 96,949 | | 发布日期 | 2017-10-14 | | 实施日期 | 2018-05-01 | | 引用标准 | GB/T 4025-2010; GB/T 4026-2010; GB/T 4205-2010; GB 4793.1-2007; GB/T 7974-2010; GB/T 12668.201-2013; GB/T 13002-2008; GB/T 16842-2016; GB/T 16895.5-2012; GB/T 16895.21-2011; GB/T 16895.23-2012; GB/T 18209.1-2010; GB/T 18216.3-2012; GB/T 19212.7-2012; GB 2 | | 采用标准 | IEC 60204-33-2009, IDT | | 标准依据 | 国家标准公告2017年第26号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | GB/T 5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引人处开始的(见 5.1)本部分适用的电气设备或电气设备部件，其标称电压不超过1000Va.c.或1500Vd.c.，额定频率不超过200 Hz。对于更高的电压或频率，可能需要特殊的要求。本部分包括针对电气安全隐患的防护措施和针对非电气安全隐患的电气联锁保护电路，但不涵盖由其他标准或法规规定的对人身安全保护的所有要求(如化学品危险、机械危险、辐射危害) | GB/T 5226.33-2017
ICS 29.020
J09
中华人民共和国国家标准
机械电气安全 机械电气设备
第33部分.半导体设备技术条件
2017-10-14发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅶ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 3
4 基本要求 11
4.1 一般原则 11
4.2 电气设备的选择 11
4.3 电源 11
4.4 实际环境和运行条件 12
4.5 运输和存放 12
4.6 设备搬运 12
4.7 安装 12
5 引入电源线端接法和切断开关 12
5.1 引入电源线端接法 12
5.2 连接外部保护接地系统的端子 13
5.3 电源切断(隔离)开关 13
5.4 附加切断装置 15
5.5 对未经允许、疏忽和错误连接的防护 15
6 电击防护 16
6.1 概述 16
6.2 直接接触的防护 16
6.3 间接接触的防护 17
6.4 采用PELV的保护 18
6.5 防止有技能人员和受训人员接触危险带电部分 19
7 电气设备的保护 19
7.1 概述 19
7.2 过电流保护 20
7.3 电动机的过热保护 22
7.4 电动机的超速保护 22
7.5 异常温度的检测 23
7.6 对电源中断或电压降落随后复原的保护 23
7.7 接地故障/残余电流保护 23
7.8 相序保护 23
7.9 闪电和开关浪涌引起过电压的防护 23
7.10 电解电容器 23
8 等电位联结 23
8.1 概述 23
8.2 保护联结电路 25
8.3 功能联结 27
8.4 限制大泄漏电流影响的措施 27
9 控制电路,紧急断开(EMO)和保护联锁电路 27
9.1 控制电路 27
9.2 紧急断开(EMO) 28
9.3 紧急断开之外的操作 29
9.4 联锁保护 30
9.5 安全功能和(或)保护措施的暂时停止 31
10 操作板和安装在机械上的控制器件 31
10.1 总则 31
10.2 按钮 32
10.3 指示灯 33
10.4 光标按钮 34
10.5 旋动控制器件 34
10.6 起动器件 34
10.7 紧急断开装置 34
10.8 紧急停止装置 35
10.9 使能控制器件 35
11 控制设备.位置、安装和电柜 35
11.1 一般要求 35
11.2 位置和安装 35
11.3 防护等级 36
11.4 电柜 36
12 导线和电缆 38
12.1 一般要求 38
12.2 绝缘 39
12.3 载流容量 39
12.4 导线和电缆的电压降 39
12.5 柔性电缆 39
13 配线技术 40
13.1 连接和布线 40
13.2 多插座组件 42
13.3 插头/插座组合件 42
13.4 导线的标识 42
13.5 电柜外配线 43
13.6 管道、接线盒与其他线盒 45
14 电动机及有关设备 46
14.1 一般要求 46
14.2 远程安装的电动机 46
14.3 电机尺寸 46
14.4 电机的安装与隔间 46
15 附件和照明 46
15.1 附件 46
15.2 半导体设备的局部照明 46
16 标记、警告标志和参照代号 47
16.1 概述 47
16.2 电击危险警告标志 47
16.3 功能识别 47
16.4 设备的铭牌 48
16.5 参照代号 48
17 技术文件 48
17.1 概述 48
17.2 提供的资料 48
17.3 适用于所有文件的要求 49
17.4 安装文件 49
17.5 概略图和功能图 50
17.6 电路图 50
17.7 操作文件 50
17.8 维修文件 50
18 测试 51
18.1 概述 51
18.2 接地连续性和保护联结回路连续性试验 51
18.3 一体式电源线的接触电流试验 52
18.4 耐压试验 52
18.5 电线防拉试验 53
18.6 电输出源短路试验 54
18.7 联锁保护电路功能试验 54
18.8 储能电容器放电试验(见6.2.4) 54
18.9 温度试验 55
18.10 电柜强度试验;30N的稳定力试验 55
18.11 电气柜强度试验;250N的稳定力试验 56
18.12 指型试具试验 56
18.13 导线弯曲试验 56
18.14 绝缘电阻试验 57
18.15 EMO功能试验 57
18.16 输入电流试验 57
18.17 其他安全电路实验 57
18.18 电动机温度试验 57
附录A(规范性附录) 在TN系统中的基本保护(间接接触的防护)(来自GB/T 16895.21-2011
和GB/T 16895.23-2012) 59
附录B(规范性附录) 在TT系统中间接接触的防护(来自GB/T 16895.21-2011和
GB/T 16895.23-2012) 62
附录C(规范性附录) 导体载流能力、电气间隙和爬电距离 64
附录D(规范性附录) 标准试指 70
附录E(资料性附录) 系统接地型式(引自IEC 60364-1.2005) 72
参考文献 86
图1 电气设备等电位接地示例 24
图2 电气外壳前面空间 38
图A.1 故障环路阻抗测量典型配置 61
图D.1 刚性试指 70
图D.2 铰接试指 71
图E.1 整个系统的中性线和保护导体是分开的TN-S系统 73
图E.2 整个系统的接地相线和保护导体是分开的TN-S系统 73
图E.3 有保护接地,没有配电中性导体的TN-S系统 74
图E.4 三相四线的TN-C-S系统中,PEN在装置中某处PE和N是分开的 74
图E.5 三相四线的TN-C-S系统中,在进线端PEN分开成PE和N 75
图E.6 单相两线的TN-C-S系统中,在进线端PEN分开成PE和N 75
图E.7 TN-C系统整个系统中性导体和保护导体合一 76
图E.8 在用电设备中保护导体和中性线分开的TN-C-S的多电源系统 77
图E.9 具有两相或三相负载,整个系统只有保护导体而没有中线的TN多电源系统 78
图E.10 在整个装置中中性线和保护导体分开的TT系统 79
图E.11 在整个装置中具有接地保护导体而没有中线的TT系统 79
图E.12 所有外露可导电部分通过一个共地的保护导体互连的IT系统 80
图E.13 外露可导电部分成组接地或单独接地的IT系统 80
图E.14 TN-S直流系统 81
图E.15 TN-C直流系统 82
图E.16 TN-C-S直流系统 83
图E.17 TT直流系统 84
图E.18 IT直流系统 85
表1 无热保护的变压器过电流保护 21
表2 带热保护的变压器过电流保护 22
表3 按钮操动器的颜色代码及其含义 32
表4 按钮符号 33
表5 指示灯的颜色及其相对于半导体设备状态的含义 34
表6 电气设备部件可接受的温度 55
表A.1 TN系统的最长切断时间 59
表B.1 最长切断时间 63
表C.1 AWG30-4的导体载流量,环境温度30℃ 64
表C.2 25mm2~600kcmil的导体载流量,环境温度30℃ 65
表C.3 降额载流量(根据表C.1和表C.2)0.050mm2~4.00mm2 65
表C.4 环境温度校正系数 66
表C.5 非绝缘母线尺寸 66
表C.6 洁净室等级1000或以下的电气间隙和爬电距离 68
表C.7 印刷线路板(PWB)爬电距离 68
表C.8 洁净室等级1000以上的电气间隙和爬电距离 69
前言
GB/T 5226《机械电气安全 机械电气设备》拟分成部分出版,已经发布如下几部分.
---第1部分.通用技术条件;
---第6部分.建设机械技术条件;
---第11部分.电压高于1000Va.c.或1500Vd.c.但不超过36kV的高压设备的技术条件;
---第31部分.缝纫机、缝制单元和系统的特殊安全和电磁兼容性方面的要求;
---第32部分.起重机械通用技术条件;
---第33部分.半导体设备技术条件。
本部分为GB/T 5226的第33部分。
本部分按GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本部分使用翻译法等同采用IEC 60204-33.2009《机械安全 机械电气设备 第33部分.半导体设
备技术条件》(第1版,英文版)。
与本部分中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下.
---GB/T 156-2007 标准电压(IEC 60038.2002,MOD)
---GB/T 4208-2017 外壳防护等级(IP代码)(IEC 60529.2001,IDT)
---GB/T 4728(所有部分) 电气简图用图形符号[IEC 60617(所有部分)]
---GB 4943.1-2011 信息技术设备 安全 第1部分.通用要求(IEC 60950-1.2005,MOD)
---GB/T 5169.16-2008 电工电子产品着火危险试验 第16部分.试验火焰50W 水平与垂
直火焰试验方法(IEC 60695-11-10.2003,IDT)
---GB/T 5465(所有部分) 电气设备用图形符号[IEC 60417(所有部分)]
---GB/T 16855(所有部分) 机械安全 控制系统有关安全部件[ISO 13849(所有部分)]
---GB/T 16855.1-2008 机械安全 控制系统有关安全部件 第1部分.设计通则(ISO 13849-
1.2006,IDT)
---GB/T 18209(所有部分) 机械安全 指示、标志和操作[IEC 61310(所有部分)]
---GB/T 19212.1-2016 变压器、电抗器、电源装置及其组合的安全 第1部分.通用要求和试
验(IEC 61558-1.2009,MOD)
---GB/T 19671-2005 机械安全 双手操纵装置 功能状况及设计原则(ISO 13851.2002,
MOD)
---GB/T 20438(所有部分) 电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全[IEC 61508(所有
部分)]
本部分做了下列编辑性修改.
---标准名称改为《机械电气安全 机械电气设备 第33部分.半导体设备技术条件》。
本部分由中国机械工业联合会提出。
本部分由全国工业机械电气系统标准化技术委员会(SAC/TC231)归口。
本部分负责起草单位.中微半导体设备(上海)有限公司。
本部分参加起草单位.北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺
研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备(上
海)有限公司、理想太阳能(上海)有限公司、盛美半导体设备(上海)有限公司。
本部分主要起草人.李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、
张志强、李补忠、薛瑞娟。
机械电气安全 机械电气设备
第33部分.半导体设备技术条件
1 范围
GB/T 5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子
设备及系统的安全要求。
注1.本部分中的“电气”一词包括电气、电子和可编程电子设备三方面(如电气设备是指电气设备、电子设备和可编
程电子设备)。
注2.就本部分而言,“人”(Person)一词泛指任何个人包括受用户或其代理指派,使用和管理上述设备的人。
本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引入处开始的(见5.1)。
注3.GB/T 16895系列标准给出了建筑物电气装置的要求。
本部分适用的电气设备或电气设备部件,其标称电压不超过1000Va.c.或1500Vd.c.,额定频率
不超过200Hz。对于更高的电压或频率,可能需要特殊的要求。
注4.电气设备内部派生电压超过上述电源电压限值仍属本部分的范围内。
本部分包括针对电气安全隐患的防护措施和针对非电气安全隐患的电气联锁保护电路,但不涵盖
由其他标准或法规规定的对人身安全保护的所有要求(如化学品危险、机械危险、辐射危害)。每种类型
的机械适应其特定要求以提供足够的安全。
下列半导体制造设备的电气装置应提供附加和特殊技术要求.
---使用、加工或生产易爆材料;
---在易燃易爆环境中使用;
---当生产或使用某种材料时有特殊风险;
---作为起重机械(包括在IEC 60204-32)。
本部分不包括半导体设备的性能或功能特性规范。本部分不涉及对人类健康可能造成影响的源于
半导体设备的排放(如电磁场,噪声)。
本部分没有规定电磁兼容性(EMC)的要求。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注......
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