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| 标准编号 | HG/T 5895-2022 (HG/T5895-2022) | | 中文名称 | 工业用混合气体 硅烷/氮气 | | 英文名称 | (Industrial mixed gas Silane/Nitrogen) | | 行业 | 化工行业标准 (推荐) | | 字数估计 | 13,123 | | 发布日期 | 2022-09-30 | | 实施日期 | 2023-04-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法,确立了检验规则,规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮(或超纯氮)为原料制备的混合气体。 |
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